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阎利娟
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
燕山大学电气工程学院仪器科学与工程系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
李志全
燕山大学电气工程学院仪器科学与...
张乐欣
燕山大学材料科学与工程学院亚稳...
乔淑欣
燕山大学电气工程学院仪器科学与...
蔡亚楠
燕山大学电气工程学院仪器科学与...
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燕山大学
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李志全
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阎利娟
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年份
1篇
2006
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多孔硅成核的电化学研究
被引量:2
2006年
将P型单晶硅在HF溶液中进行阳极电化学腐蚀制备出孔隙率约为30%~85%、直径为2~30nm不等的多孔硅,用原子力显微镜(AFM)观察其表面形貌。采用电化学工作站(CHI660A)监测p型硅电极在不同浓度HF溶液中的电流-电压特性,记录恒电流情况下硅电极的电压变化。这些曲线可从精确反映多孔硅形成的早期成核过程。将这些电化学特性曲线在同一坐标轴下显示,得出多孔硅的电化学成核机理。
李志全
乔淑欣
张乐欣
蔡亚楠
阎利娟
关键词:
多孔硅
原子力显微镜
电流-电压特性
成核机理
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