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章磊

作品数:1 被引量:7H指数:1
供职机构:上海交通大学材料科学与工程学院高温材料及高温测试教育部重点实验室更多>>
发文基金:上海市科学技术发展基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域:一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇形状记忆
  • 1篇形状记忆合金
  • 1篇形状记忆合金...
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微加工
  • 1篇微加工工艺
  • 1篇机电系统
  • 1篇记忆合金
  • 1篇合金
  • 1篇合金薄膜
  • 1篇SMA
  • 1篇MEMS
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇吴建生
  • 1篇谢超英
  • 1篇章磊

传媒

  • 1篇材料导报

年份

  • 1篇2006
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
MEMS领域中形状记忆合金薄膜的研究与进展被引量:7
2006年
总结了近年来微机电系统(MEMS)领域中,Ti-Ni形状记忆合金(SMA)薄膜的制备与微加工工艺、形状记忆性能、加工性能、防腐耐磨性能及力学性能的研究进展,由此提出了MEMS领域中,SMA薄膜的使用要求和研究方向。
章磊谢超英吴建生
关键词:微机电系统形状记忆合金薄膜微加工工艺
共1页<1>
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