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章磊
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
供职机构:
上海交通大学材料科学与工程学院高温材料及高温测试教育部重点实验室
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发文基金:
上海市科学技术发展基金
国家教育部博士点基金
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
谢超英
上海交通大学材料科学与工程学院...
吴建生
上海交通大学材料科学与工程学院...
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电系统
机构
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上海交通大学
作者
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吴建生
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谢超英
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章磊
传媒
1篇
材料导报
年份
1篇
2006
共
1
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MEMS领域中形状记忆合金薄膜的研究与进展
被引量:7
2006年
总结了近年来微机电系统(MEMS)领域中,Ti-Ni形状记忆合金(SMA)薄膜的制备与微加工工艺、形状记忆性能、加工性能、防腐耐磨性能及力学性能的研究进展,由此提出了MEMS领域中,SMA薄膜的使用要求和研究方向。
章磊
谢超英
吴建生
关键词:
微机电系统
形状记忆合金薄膜
微加工工艺
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