2024年11月15日
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顾玉明
作品数:
24
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供职机构:
中国科学院合肥物质科学研究院
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相关领域:
化学工程
医药卫生
电气工程
一般工业技术
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合作作者
谢远来
中国科学院合肥物质科学研究院
谢亚红
中国科学院合肥物质科学研究院
韦江龙
中国科学院合肥物质科学研究院
李军
中国科学院合肥物质科学研究院
胡纯栋
中国科学院合肥物质科学研究院
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机构
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中国科学院合...
作者
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谢远来
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一种双真空室跑道型外置天线射频离子源装置
本实用新型公开了一种双真空室跑道型外置天线射频离子源装置,包括有外真空室以及密封安装在外真空室上的射频离子源盖板,在外真空室内部密封安装有跑道型罩体,跑道型罩体与外真空室之间为天线真空室,跑道型罩体内部为等离子体真空室,...
谢亚红
顾玉明
胡纯栋
谢远来
文献传递
一种强密封管接头
本发明公开了一种强密封管接头,包括接管公头、主密封圈、加强密封圈和接管母头,所述的接管母头包括母头主体、扩口外套螺母和接管部分。本发明结构简单,安装拆卸方便,与其他的管接头相比,体积尺寸较小,工作安全可靠,具有刀口密封、...
邑伟
陶玲
谢远来
谢亚红
顾玉明
汪金新
唐宁
一种真空抽气系统
本发明公开了一种真空抽气系统,包括有等离子体腔室、等离子驱动源、真空泵和多段连接管道,真空泵的进气管与被抽工件之间通过真空管道连接,且真空管道上设置等离子体腔室,等离子体腔室内在等离子体驱动源的激励作用下产生等离子体,其...
李军
凌必利
胡纯栋
吴斌
张洪明
吕波
谢远来
谢亚红
韦江龙
顾玉明
许永建
蒋才超
盛鹏
一种可调节自力式真空安全阀
本发明公开了一种可调节自力式真空安全阀,包括阀体、密封圈、阀板、助力装置、阀帽、拉杆、拉环。本发明体积较小,结构简单,材料普通,真空密封性能良好,工作稳定可靠;阀体可做成不同形状和大小,接口亦可根据需要选择不同规格类型,...
邑伟
谢远来
严德志
卜铝阳
崔庆龙
韦江龙
顾玉明
田焜
应用于大型待测温部件中自紧式铠装热电偶的安装方法
本发明公开了一种应用于大型待测温部件中自紧式铠装热电偶的安装方法,先将活动螺母外壁刻有外螺纹,内壁开出六角扳手操作孔,中央开有与热电偶形状、直径大小相当的通孔。再依次从热电偶头部套装活动螺母、支撑弹簧(或V型弹片)以及固...
许永建
汪日新
陶玲
顾玉明
谢远来
胡纯栋
文献传递
一种射频离子源法拉第屏蔽筒制造方法及模具
本发明提供一种射频离子源法拉第屏蔽筒制造方法及模具,所述方法包括:制作法拉第屏蔽筒圆板基材;在模具中加载圆板基材,进行法拉第屏蔽筒压制成型;将压制好的法拉第屏蔽筒从模具脱模;最终将进出水管和侧壁缝隙采用真空钎焊焊接成型,...
顾玉明
谢亚红
韦江龙
李军
谢远来
胡纯栋
梁立振
邑伟
蒋才超
许永建
文献传递
一种射频离子源启动灯丝装置
本实用新型提供一种射频离子源启动灯丝装置,包括进气管、上法兰绝缘压板、上法兰盖板、压紧螺栓、下法兰绝缘压板、钼棒、绝缘陶瓷、固定钼座、钼座法兰、真空密封圈、冷却水管和法兰盖板;所述进气管和钼座法兰及钼棒焊接成一体安装在下...
顾玉明
谢亚红
韦江龙
李军
谢远来
胡纯栋
梁立振
蒋才超
许永建
邑伟
文献传递
一种真空抽气系统
本发明公开了一种真空抽气系统,包括有等离子体腔室、等离子驱动源、真空泵和多段连接管道,真空泵的进气管与被抽工件之间通过真空管道连接,且真空管道上设置等离子体腔室,等离子体腔室内在等离子体驱动源的激励作用下产生等离子体,其...
李军
凌必利
胡纯栋
吴斌
张洪明
吕波
谢远来
谢亚红
韦江龙
顾玉明
许永建
蒋才超
盛鹏
文献传递
一种真空低温传输管
本发明公开了一种真空低温传输管,包括低温过渡管、顶部封头结构、中间波纹管结构、过渡法兰管、绝缘法兰、底部真空筒体。本发明结构简单,安装拆卸方便,与其他的低温输液管线相比,它具有很强的真空密封性,可与真空室相连,从而具有超...
邑伟
谢远来
韦江龙
崔庆龙
顾玉明
唐宁
崔志伟
一种内置天线射频离子源
本实用新型公开了一种内置天线射频离子源,主体由真空腔体、大于等于两匝金属管绕成的天线线圈和绝缘保持架组成,所述的天线线圈通过绝缘保持架绝缘分隔固定,且天线线圈呈平行状态排列布置在真空腔体内,绝缘保持架填充天线线圈间的空隙...
蒋才超
李军
胡纯栋
谢亚红
吴斌
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韦江龙
顾玉明
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