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何科峰

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇真空
  • 1篇注入机
  • 1篇离子注入
  • 1篇离子注入机

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇何科峰

传媒

  • 1篇中国科技信息

年份

  • 1篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
浅谈离子注入机的维护被引量：3
2013年
本文对半导体生产中用到的离子注入机进行了简单的介绍,对离子注入机使用过程中可能遇到的各类故障加以归类,并结合一些实际维修过程中遇到的故障现象来分析探讨。
何科峰
关键词：离子注入机真空
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