张瑞
- 作品数：3 被引量：10H指数：2
- 供职机构：中国科学院合肥智能机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金合肥物质科学研究院知识创新工程领域前沿项目中国科学院“百人计划”更多>>
- 相关领域：核科学技术机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 基于ZnO压电薄膜的柔性MEMS超声波换能器被引量：3
- 2016年
- 该文提出一种柔性的微机电系统（MEMS）超声波器件。该器件由下电极、ZnO薄膜、上电极及聚酰亚胺柔性基底构成。其制作过程简单,采用直流磁控溅射制作上、下电极,反应射频磁控溅射制作氧化锌压电薄膜。薄膜间粘合牢固,可反复弯折。SEM和XRD结果表明,氧化锌薄膜厚度可达4~8μm,具有高度（002）择优取向的柱状晶结构。根据XRD所得的结果计算了薄膜平均晶粒尺寸和内应力大小,结果表明,晶粒尺寸约为22nm,薄膜内压应力约为-1.248 4GPa。利用激光多普勒测得其共振频率约为5MHz。同时,研究发现,较厚的ZnO薄膜使振幅变大,导致振动品质因数（Q）值增加。
- 林荣辉孙翠敏尤晖张瑞杨明鹏李小军
- 关键词：压电式射频磁控溅射氧化锌薄膜
- 基于MEMS的新型高场不对称波形离子迁移谱仪被引量：6
- 2011年
- 简要回顾了离子迁移谱技术的发展历程,叙述了常规离子迁移谱的局限性。阐述了基于MEMS工艺的新型高场不对称波形离子迁移谱技术,该技术以物质离子的离子迁移率在高场下的非线性变化特性为基础,可实现对物质离子的空间分离。以MEMS技术为主体,自主研发了高场不对称波形离子迁移谱仪,并对挥发性有机物、苯系物、爆炸物和农药等样品进行了检测,结果表明该离子迁移谱仪能够对苯、丙酮、对二甲苯、爆炸物梯恩梯和农药硫丹等物质实现快速、高分辨和高灵敏度检测,检测精度达10-9量级,线性度达0.95。该结果展示了其在物质离子分离检测方面的巨大潜力,以及在环境、食品安全和生物大分子等领域的优越性和前景,其研究成果将推动下一代物质离子分离检测技术的发展。
- 陈池来赵聪王电令程玉鹏孔德义王焕钦高钧高理升林新华王英先殷世平张瑞
- 关键词：微电子机械系统离子迁移谱
- 一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器被引量：1
- 2011年
- 为深入研究微纳米环境中物体的受力与运动状态,实现微纳米环境下的位置感知与位移操作,建立纳米尺度下位移、力检测的理论方法,研制了一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器。通过采用厚膜混合集成工艺将信号处理电路与厚膜电容芯片一体化集成,即用厚膜电路替代PCB电路板,以达到降低由于温度效应和寄生电容等导致的非线性误差,提高传感器的分辨率和稳定性的效果。传感器性能标定实验结果表明,0~1 000nm量程范围内位移检测分辨率优于2nm,传感器稳定性得到显著提高,能够用于检测纳米级微小位移变化量。此外,还从材料物理属性和电路优化设计等方面分析了一体化集成的厚膜电路相对于PCB电路板的优越性。
- 钱玉洁高理升王焕钦马以武孔德义熊剑平王英先张瑞
- 关键词：微位移传感器厚膜电路陶瓷电容分辨率
