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马涛

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇视场
  • 1篇投影光刻
  • 1篇投影光刻物镜
  • 1篇物镜
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻物镜
  • 1篇分辨力
  • 1篇大视场

机构

  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇沈亦兵
  • 1篇庄华洁
  • 1篇高波
  • 1篇马涛

传媒

  • 1篇光学仪器

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
大视场投影光刻物镜的研究被引量：3
2005年
大视场投影光刻物镜是光学系统中的一种特殊的形式,其设计加工要求高。针对研制的8英寸视场的投影光刻物镜,从光学设计要求出发,分析了影响光学系统成像质量的各种主要误差因素,通过ZEMAX模拟,确定了加工容差,并对其加工和装校过程做了阐述,对研制完成的物镜检验了其曝光分辨力和畸变特性,达到了系统设计的指标要求。
高波庄华洁马涛沈亦兵
关键词：大视场光刻物镜分辨力
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