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王怀荣
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东北微电子研究所
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相关领域:
电子电信
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顾长志
吉林大学材料科学与工程学院超硬...
金曾孙
吉林大学材料科学与工程学院超硬...
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CMOS/SOD抗核加固电路辐照后的恢复特性
1999年
以金刚石膜作为绝缘埋层, 利用金刚石膜上的薄层硅( S O D)技术, 制作 54 H C T03 C M O S/ S O D 结构的集成电路. 对该电路在辐照后的恢复特性进行研究. 结果表明, S O D 电路在大剂量辐照后的恢复能力明显强于体硅电路; 常规非辐照环境下的高温退火工艺更有利于辐照后的 S O D
王怀荣
姚达
苏秀娣
许仲德
陆剑侠
顾长志
金曾孙
关键词:
集成电路
抗辐射
CMOS/SOD电路的高温工作特性
1997年
采用具有高导热、高绝缘等优异物理性能的金刚石膜作为绝缘理层,利用金刚石膜上的薄层硅(SOD)技术,制作了54HCTO3CMOS/SOD结构的集成电路.对该电路高温下的工作特性进行了研究.结果表明SOD电路在350℃下仍具有正常的逻辑功能,其工作温度明显高于体硅电路。
顾长志
金曾孙
孟强
邹广田
陆剑侠
苏秀娣
许仲德
姚达
王怀荣
关键词:
金刚石膜
IC
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