王玉
- 作品数：5 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第二研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信化学工程更多>>
- 基于计量泵的自动化学供酸系统被引量：1
- 2015年
- 介绍了自动化学供酸系统的组成及工作原理,对使用计量泵进行化学供酸的实现方法进行了探讨。
- 王玉郭帝江常志张峰
- 关键词：计量泵
- 先进封装中的剪切电镀
- 2016年
- 介绍了先进封装中的剪切电镀单元及工作原理,对剪切电镀对于电镀效率以及镀层均匀性的影响进行了探讨。
- 王玉郭帝江赵晓明周晓军
- 全自动硅片显影设备的研究被引量：1
- 2016年
- 硅片显影设备可以对硅片表面已曝光的光刻胶完成显影腐蚀及清洗处理,但是国内的显影设备大多自动化程度低,难以精确控制显影参数,显影工艺稳定性得不到保证。本文通过对现有设备关键部件的研究论证,设计了一款全自动硅片腐蚀显影设备,提高了显影参数的控制精度,保证了显影工艺稳定性,在实际生产应用中取得了良好的效果。
- 郭帝江王玉
- 关键词：硅片全自动
- 基于湿法清洗设备自动供液系统的研究被引量：2
- 2016年
- 湿法清洗设备是半导体清洗行业中最普遍的设备,其电气控制方式受环境因素影响有其特殊性和专业性,清洗设备中的电气控制需要配合其清洗的特殊工艺而实现。同时清洗工艺过程具有强腐蚀性,也应该考虑电气设备的安全耐腐蚀防护。
- 张润张峰王玉郭帝江
- 关键词：计量泵流量计
- 电铸铜的应用研究被引量：3
- 2015年
- 电铸铜能制造某些难以用机械加工方法制造的特殊形状的金属制品,只需针对零件结构的特点,设计合理心模,便可实现零件的精密成型制造。本文对电铸铜工艺及工艺条件的影响进行了浅析,并结合工艺对电铸槽等关键部件进行了阐述。
- 常志靳志强张峰王玉郭帝江
