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王良辰

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：兰州交通大学化学与生物工程学院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电容
  • 1篇电容式
  • 1篇电容式传感器
  • 1篇亚胺
  • 1篇湿度传感器
  • 1篇酰亚胺
  • 1篇聚酰亚胺
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇兰州交通大学

作者

  • 1篇任学昌
  • 1篇刘倩
  • 1篇常青
  • 1篇王良璧
  • 1篇周文和
  • 1篇王良辰

传媒

  • 1篇兰州交通大学...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于聚酰亚胺的电容式湿度传感元件的研制被引量：7
2009年
以P型单晶硅为基片,聚酰亚胺为湿敏介质,钛和金为电极材料,通过氧化SiO2绝缘层、磁控溅射平板下电极和栅状上电极、涂敷湿敏介质及其亚胺化,制作了平行板电容式湿度传感元件.介绍了传感元件的制造工艺和感湿机理,测试了成品的湿敏特性,对测试结果进行了分析.结果表明本文研制的湿度传感器设计合理、性能稳定,可满足湿度测量的要求,其性能主要取决于聚酰亚胺膜的制备过程,以及栅状上电极的结构.
周文和刘倩王良璧任学昌王良辰常青
关键词：聚酰亚胺湿度传感器电容式传感器
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