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张运生

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：中国建筑材料科学研究总院更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电阻
  • 1篇有机玻璃
  • 1篇溅射
  • 1篇方块电阻
  • 1篇ITO薄膜
  • 1篇ITO膜
  • 1篇玻璃衬底
  • 1篇衬底
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇中国建筑材料...

作者

  • 1篇冯海兵
  • 1篇王永斌
  • 1篇杨幼然
  • 1篇张运生
  • 1篇马晓娜

传媒

  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
有机玻璃衬底磁控溅射ITO膜的制备与性能研究被引量：5
2014年
在低温条件下采用直流磁控溅射法在有机玻璃(PMMA)衬底上制备了ITO薄膜。分别采用分光光度计、四探针测试仪研究了底涂层、衬底温度、氧流量、溅射时间对PMMA上沉积的ITO薄膜性能的影响。研究结果表明:涂覆底涂层有助于ITO成膜;衬底温度影响薄膜的方块电阻值;适当增大O2流量可以提高薄膜的透射率,但过高的O2流量降低薄膜的导电性;溅射时间延长,方块电阻值减小。优化工艺后制备的ITO薄膜为非晶态膜,可见光平均透过率达83.5%,方块电阻为22Ω/□。
张运生杨幼然王永斌马晓娜冯海兵
关键词：ITO薄膜有机玻璃磁控溅射方块电阻
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