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杨静
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
李亮
中国科学院
刘宗顺
中国科学院
李晓静
中国科学院
赵德刚
中国科学院
乐伶聪
中国科学院
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机构
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作者
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陈平
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刘宗顺
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李亮
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杨静
传媒
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物理学报
年份
1篇
2013
共
1
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退火温度和退火气氛对Ni/Au与p-GaN之间欧姆接触性能的影响
被引量:1
2013年
研究了不同退火温度和气氛对Ni/Au与p-GaN之间欧姆接触性能的影响.采用圆形传输线模型方法得到不同退火温度和不同退火气氛下的比接触电阻率.结果表明,较适宜的退火温度为500 C左右,退火温度太高或太低都会导致比接触电阻率的增大;较适宜的退火气氛为适量含氧的氮气气氛,且氧气含量对比接触电阻率大小的影响并不显著.经过对退火条件的优化,得到的比接触电阻率可达7.65×10 4·cm2.
李晓静
赵德刚
何晓光
吴亮亮
李亮
杨静
乐伶聪
陈平
刘宗顺
江德生
关键词:
P-GAN
欧姆接触
快速热退火
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