- 一种改善波导侧壁的ICP刻蚀方法
- 一种改善波导侧壁的ICP刻蚀方法，其特征在于：包括以下步骤：1)在Si/SiO<Sub>2</Sub>基片上镀上一层GeSbSe膜；2)将清洗后的基片上涂覆光刻胶并且制备出光刻胶掩膜；3)将带有光刻胶掩膜的基片在ICP刻...
- 张巍周杰韩金涛沈祥赵阳张森
- 文献传递
- 基于Ge-As-Se薄膜的光波导制备及热回流工艺研究
- 光通信技术在当今社会中扮演着非常重要的角色。随着通信技术的升级进步变得越来越快，对通信基础设备的性能要求也相应提高。光子器件对光通信技术的发展起着至关重要的作用。硫系光子器件由于具有折射率高，红外透过范围宽，三阶非线性强...
- 赵阳
- 关键词：表面形貌传输特性
- 文献传递
- 一种改善波导侧壁的ICP刻蚀方法
- 一种改善波导侧壁的ICP刻蚀方法，其特征在于：包括以下步骤：1)在Si/SiO<Sub>2</Sub>基片上镀上一层GeSbSe膜；2)将清洗后的基片上涂覆光刻胶并且制备出光刻胶掩膜；3)将带有光刻胶掩膜的基片在ICP刻...
- 张巍周杰韩金涛沈祥赵阳张森
- 文献传递
- 螳螂拳研究综述
- 螳螂拳作为国家级非物质文化遗产,有其重要的传承意义。关于其起源、传承人、拳理技法、功能价值均需得到科学客观的梳理,以便更好地理解其内涵和文化价值。马王堆汉墓出土的《三十二式导引图》中记载关于螳螂的动作模仿,代表汉代已经出...
- 赵阳
- 一种具有保护层的SiO<Sub>2</Sub>沟道型硫系波导及其制备方法
- 本发明公开了一种具有保护层的SiO<Sub>2</Sub>沟道型硫系波导及其制备方法，解决了现有技术中SiO<Sub>2</Sub>沟道型波导制备中沟道侧壁粗糙的问题，其技术方案要点是，通过在Si/SiO<Sub>2</...
- 张巍李承栋郭盼盼徐培鹏赵阳黄伟张培晴
- 文献传递
- 浙江畲族传统体育文化符号考释
- 浙江畲族传统体育是畲族具有典型性、代表性、凝聚性的身体活动文化符号，与浙江畲族文化结构相互交融并承载着畲族从远古到现代“亘古”的历史文化记忆。阐释文化意涵不仅是对其挖掘整理，更是对畲族历史文化追忆，对“多元一体”格局形成...
- 赵阳
- 关键词：畲族传统体育文化符号经济形态婚姻文化
- 基于Ge-Sb-Se薄膜的硫系光波导制备工艺研究
- 2018年
- 通过传统熔融淬冷技术制备Ge28Sb12Se60硫系玻璃,并由热蒸发技术制备出Ge28Sb12Se60非晶态薄膜,利用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀机在不同刻蚀气体氛围下制备出Ge-Sb-Se硫系光波导.研究了不同刻蚀功率和不同刻蚀气体流量比等条件参数对制备所得Ge-Sb-Se波导表面形貌的影响,利用台阶仪测量其刻蚀速率,扫描电子显微镜(SEM)和扫描探针显微镜(SPM)测量波导形貌以及表面粗糙度.结果显示,对于相同组分材料的Ge-Sb-Se硫系薄膜,相比于CF4/O2刻蚀气体,CF4/CHF3混合刻蚀气体制备出的波导具有较低的表面粗糙度、较光滑的侧壁和较大的刻蚀选择比,1 550 nm处2μm宽波导传输损耗为(1.73±0.24)d B·cm-1.
- 周杰赵阳赵阳
- 关键词：硫系玻璃
- 浙江畲族传统体育文化符号考释
- 研究目的:浙江是畲民主要聚居区之一,并设立全国唯一一个景宁畲族自治县。浙江畲族传统体育是中国优秀民族传统体育项目集群,但是在文献梳理与实地调查的过程中发现:畲族传统体育传承发展中存在"外在形式展演,内在纹理消融"局面。通...
- 赵阳朱晟常宪梁
- 一种应用于中红外波段的硫系波导结构
- 一种应用于中红外波段的硫系波导结构，其特征在于：包括衬底，缓冲层，低折射率层和光传输层，所述缓冲层位于衬底上，所述低折射率层位于所述缓冲层上，所述光传输层位于所述低折射率层上，所述低折射率层和光传输层为硫化物玻璃制备的硫...
- 张巍赵阳李承栋郭盼盼张培晴徐培鹏
- 文献传递
- 一种具有保护层的SiO<Sub>2</Sub>沟道型硫系波导及其制备方法
- 本发明公开了一种具有保护层的SiO<Sub>2</Sub>沟道型硫系波导及其制备方法，解决了现有技术中SiO<Sub>2</Sub>沟道型波导制备中沟道侧壁粗糙的问题，其技术方案要点是，通过在Si/SiO<Sub>2</...
- 张巍李承栋郭盼盼徐培鹏赵阳黄伟张培晴
- 文献传递
