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郭涛

作品数：2 被引量：4H指数：2
供职机构：湖北大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇钛酸
  • 1篇钛酸锶
  • 1篇钛酸锶钡
  • 1篇无机非金属
  • 1篇无机非金属材...
  • 1篇物相
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇晶格
  • 1篇晶格常数
  • 1篇晶化
  • 1篇晶化过程
  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻蚀速率
  • 1篇非金属材料
  • 1篇BST薄膜
  • 1篇表面形貌

机构

  • 2篇湖北大学

作者

  • 2篇张柏顺
  • 2篇章天金
  • 2篇郭涛
  • 1篇何军
  • 1篇全祖赐
  • 1篇江娟

传媒

  • 1篇湖北大学学报...
  • 1篇电子元件与材...

年份

  • 2篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
BST薄膜的磁增强反应离子刻蚀研究被引量：2
2006年
分别以CF4/Ar和CF4/Ar/O2作为刻蚀气体,采用磁增强反应离子刻蚀(MERIE)技术对sol-gel法制备的BST薄膜进行刻蚀。结果表明,刻蚀速率与刻蚀气体的混合比率呈现非单调特性。当CF4/Ar的气体流量比R(CF4:Ar)为10:40时,刻蚀速率达到极大值。当CF4/Ar/O2的气体流量比R(CF4:Ar:O2)为9:36:5时,刻蚀速率达到最大值,最大刻蚀速率为8.47nm/min。原子力显微镜(AFM)分析表明,刻蚀后的薄膜表面粗糙度变大。对刻蚀后的薄膜再进行适当的热处理,可以去除部分残留物。
张柏顺全祖赐郭涛章天金
关键词：无机非金属材料BST薄膜刻蚀速率表面形貌
钛酸锶钡粉体晶化过程和物相结构研究被引量：2
2006年
应用传统陶瓷制备工艺制备出Ba0.6Sr0.4TiO3（BST）粉体，在600—1140℃范围内对粉体按不同温度煅烧，用X射线衍射分析各煅烧温度下制备出粉体的物相结构，用TG／DTA研究了粉体在煅烧过程中的晶化过程．实验结果表明：粉体在600-900℃煅烧过程中出现3个不同的中间相，900℃附近这些中间相基本消失，BST钙钛矿相开始形成，经过1000℃煅烧2．5h，BST粉体已经显示为完全的钙钛矿相，其晶格常数a和c分别为0．3974mm和0．3984mm，晶胞体积为0．0629nm^3．随着煅烧温度的升高，粉体的晶格常数和晶胞体积逐渐减小．
张柏顺郭涛何军江娟章天金
关键词：钛酸锶钡晶化过程晶格常数
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共1页<1>
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