廉孟冬
- 作品数:5 被引量:7H指数:1
- 供职机构:浙江大学更多>>
- 相关领域:机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 倒指数形状、高长-径比扫描隧道显微镜探针的制备工艺
- 本发明公开了一种倒指数形状、高长-径比扫描隧道显微镜探针的制备工艺。该工艺用钨丝作为制备探针的材料,将钨丝浸没到碱性电解溶液中作为阳极,用耐腐蚀的铂金丝绕在钨丝周围作为阴极,相继采用直流和占空比可调的脉宽电压信号,确定钨...
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- 文献传递
- 基于QPD的单透镜微角度测量系统及其关键技术研究被引量:1
- 2011年
- 介绍了一种基于QPD的单透镜微角度测量系统。通过对其关键技术如采取的光学原理、光学器件光电探测器的选择和离焦设置,小尺寸的可行性分析计算等,最后得出设计出一种结构紧凑,体积小,携带方便,灵敏度高,可测量微小角度的测量系统的可行性。同时通过实验得出测量系统大致的测量范围和测量精度。
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- 一种基于激光自准直的二维微角度测量装置
- 本发明公开了一种基于激光自准直的二维微角度测量装置。它包括半导体激光器、偏振分光棱镜、1/4波片、透镜、被测物体或反光镜、四象限光电探测器、底座、信号处理器;在底座上固定有半导体激光器、偏振分光棱镜、1/4波片、透镜、四...
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- 文献传递
- 基于激光角度传感器和平面光栅的二维微位移直接解耦测量技术
- 随着现代科学技术的迅速发展,精密测量技术越来越成为各国高技术发展水平的重要标志,所有的发达国家都将精密测量技术作为机械行业首要发展的关键技术.特别是微位移测量技术,正逐渐朝着实时、高精度、大量程和多维位移直接测量的方向发...
- 廉孟冬
- 关键词:微位移测量平面光栅
- 二维光学自准直微角度传感器被引量:6
- 2010年
- 为实现表面微形貌测量以及精密平台的定位测量,设计了一种结构简单的小体积二维微角度传感器。该微角度传感器基于激光自准直原理,主要由作为光源的激光二极管、自准直光路和作为位置探测器的四象限光电二极管组成。分析计算发现,角度传感器的灵敏度与光路中物镜的焦距无关,因此选用了焦距较短的物镜,以实现小体积、高灵敏度的目的。四象限光电二极管具有二维位置探测能力,利用其作为光电转换装置,微角度传感器可以同时探测两轴角度变化值。实验结果表明,微角度传感器的体积可达到25×20×13 mm3,角度测量范围±1 200 arcsec,分辨率为0.1 arcsec。实验中利用激光自准直仪进行对照,有效验证了这种新型二维光学自准直微角度传感器的可行性。
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- 关键词:自准直