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徐亮

作品数:6 被引量:12H指数:2
供职机构:浙江大学机械工程学系更多>>
发文基金:国家自然科学基金浙江省自然科学基金更多>>
相关领域:机械工程理学一般工业技术电子电信更多>>

文献类型

  • 5篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 6篇机械工程
  • 2篇理学
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇无阀微泵
  • 2篇压电
  • 2篇湿法刻蚀
  • 2篇微泵
  • 2篇微机电系统
  • 2篇吸合
  • 2篇静电
  • 2篇刻蚀
  • 2篇机电系统
  • 2篇MEMS
  • 2篇电系统
  • 1篇压电驱动
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元法
  • 1篇数值模拟
  • 1篇特性分析
  • 1篇平面型
  • 1篇微流控
  • 1篇微流控芯片
  • 1篇流固耦合

机构

  • 6篇浙江大学

作者

  • 6篇徐亮
  • 5篇应济
  • 5篇李俊
  • 1篇林谢昭
  • 1篇王硕

传媒

  • 1篇农业机械学报
  • 1篇机械强度
  • 1篇机床与液压
  • 1篇机械科学与技...
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 3篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
平面型无阀微泵流固耦合模态分析被引量:2
2009年
为研究平面型无阀微泵工作时的振动特性,分析了湿模态法提取泵膜流固耦合模态的过程,并利用ANSYS建立了泵膜-腔内流体耦合的有限元模型,通过结构模态分析中的非对称法提取了泵膜的无阻尼湿模态,得到了微泵结构尺寸和腔内流体压力对泵膜湿模态的影响。结果显示,湿模态频率相对干模态频率有大幅度地下降,振型类似;湿模态频率随着泵腔高度的增加而逐渐增大;在微泵工作压力范围内,腔内流体压力对湿模态没有影响。
李俊应济沈雪明徐亮
关键词:无阀微泵流固耦合模态分析有限元法
静电微泵吸合与释放特性研究被引量:2
2011年
为避免静电微泵因驱动电压过高而出现吸合现象,建立描述静电泵膜吸合与释放现象的一维集中质量模型、二维分布式模型和三维有限元模型,对比研究静电致动泵膜在准静态下吸合与释放的循环过程,获得整个循环过程的泵膜挠曲线变化、泵腔体积变形、电容变化等大量的数据与曲线。比较结果表明,二维分布式模型求解效果最好,并利用三维有限元模型和宏模型的计算结果,验证该模型在泵膜大变形下计算吸合过程的准确性,获得的吸合电压为确定静电微泵驱动电压的上限值提供有效依据。
应济李俊王硕徐亮
关键词:静电微泵吸合
基于MEMS的扩张管/收缩管内流动特性分析被引量:5
2008年
扩张管/收缩管作为无阀微泵的关键组件,其结构参数直接影响微泵的泵送效率和工作性能。本文作者利用有限元软件ANSYS/Flotran对扩张管和收缩管内流体进行了数值模拟,结果表明:在不同的进出口压差下效率随扩张角的变化趋势不同;扩张管无论是在高压下还是低压下,都会出现压力复现,而分离流动和回流只会出现在高压或较大扩张角的情况下;收缩管内流体流动稳定,则不会出现压力复现、分离流动和回流。
李俊沈雪明应济徐亮
关键词:微机电系统无阀微泵数值模拟
面向微流控芯片的压电无阀微泵的研究
微流控芯片是微全分析系统中的重要组成部分,它以微机电技术为基础,具有液体流动可控、消耗试样和试剂极少、分析速度快等特点,在生物医学检测、药物合成及成分鉴定、微量药物控释和化学分析等领域有广泛的应用前景。作为微流控芯片的动...
徐亮
关键词:无阀微泵压电驱动湿法刻蚀微流控芯片
文献传递
基于模态叠加法的静电微泵吸合现象被引量:1
2010年
利用数值计算和模态叠加法建立了静电致动泵膜的降阶模型,使复杂的吸合过程求解简单化。通过与已有文献中的结果和三维有限元计算值的比较,表明降阶模型能减少求解时间并且具有很高的精度。利用降阶模型参数化研究了残余应力、泵膜厚度、泵膜半径、极板初始间隙对泵膜吸合电压和吸合位置的影响,得到了泵膜设计的准则,为静电微泵的优化设计提供理论基础。
应济李俊林谢昭徐亮
关键词:微泵吸合静电降阶模型
一种低成本压电无阀微泵的研制被引量:2
2011年
提出了一种低成本的由压电材料驱动的平面扩张/收缩管无阀微泵的制作工艺。通过数值模拟确定了扩张/收缩管扩张角的最优值,在此基础上,采用光刻和湿法刻蚀工艺,刻蚀了300μm深的泵腔基片和100μm深的盖片;使用等离子体清洗技术将其与PDMS薄膜键合,完成了可以实现单向泵送的压电无阀微泵样机制作。研究了该压电无阀微泵样机的性能,分别分析了压电振子的激励频率、电压和微泵背压对其流量的影响。实验结果表明:在100 V,110 Hz交流方波电压信号的作用下,微泵有最大输出流量为436μL/min,最大背压为620 Pa。
徐亮应济李俊
关键词:无阀微泵湿法刻蚀
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