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梁浩
作品数:
1
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供职机构:
河南大学物理与电子学院
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发文基金:
中国航空科学基金
河南省教育厅自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
刘凯
河南大学物理与电子学院
茹意
郑州航空工业管理学院数理系
张锐
郑州航空工业管理学院数理系
张新月
郑州航空工业管理学院数理系
麻华丽
郑州航空工业管理学院数理系
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梁浩
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2011
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单晶硅掺杂类型对化学镀Ni-P膜的影响
2011年
本文采用化学镀的方法分别在P型、N型Si(100)表面制备了Ni-P膜,通过扫描电镜(SEM)及电子能谱仪(EDS)分析考察了同种制备条件下,在不同基底上镀膜的表面形貌和不同基底对镀层组分的影响;并用原子力显微镜(AFM)对不同基底上镀膜的平整度进行了研究。结果发现两种基底上的镀膜形貌、元素含量及镀膜平整度明显不同,以P型Si(100)作为基底时,膜层颗粒度及平整度较好。
麻华丽
张新月
杜银霄
陈雷明
茹意
张锐
曾凡光
刘波
刘凯
梁浩
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化学镀
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