刘锋伟
- 作品数：27 被引量：24H指数：2
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学文化科学一般工业技术更多>>
- 一种标定干涉法测量面形中的回程误差的装置及方法
- 本发明公开了一种标定干涉法测量面形中的回程误差的装置及方法，属于光学检测领域。该方法通过控制反射镜的位移及偏转，记录光斑偏离位置与Zernike多项式前36阶像差系数的关系来对系统的回程误差进行标定。具体通过五维电控微位...
- 刘锋伟邓婷陈强吴永前覃蝶徐淑静
- 一种同时适用于平面和球面的标定回程误差的方法
- 本发明公开了一种同时适用于平面和球面的标定回程误差的方法，属于光学检测领域。本发明首先通过实测的方式，测量得到当被测镜相对于参考镜沿X方向倾斜，Y方向倾斜和离焦造成的回程误差大小，并对回程误差逐一进行zernike多项式...
- 陈小君吴永前刘锋伟赵彦肖向海
- 一种菲索型准共光路结构的同步相移干涉测量装置及方法
- 本发明涉及一种菲索型准共光路结构的同步相移干涉测量方法及装置，包括激光器、半波片、聚焦透镜、空间滤波器、圆偏振光分束器(旋光晶体)、分光镜、准直透镜、参考镜、小孔光阑、成像透镜、分光移相系统、计算机控制系统、CCD相机。...
- 吴永前刘锋伟
- 随机相移误差的Lissajous标定与校正被引量：1
- 2015年
- 将Lissajous标定技术应用到相移干涉测量的相移算法(PSA)中,提出一种基于Lissajous标定技术的随机相移误差校正算法。该算法不需要计算各帧干涉图之间的实际相移量,直接用Lissajous标定和椭圆拟合的方法计算相移算法的相位提取误差(包括离焦、偏倚、相移量偏差)然后进行校正。数值模拟结果表明:该算法不需要迭代运算就能从大于3帧的带有随机相移误差的干涉图中有效恢复出正确的相位信息,运算时间少,计算精度高并且适合于所有的相移算法。实验结果表明:基于Lissajous标定技术的随机相移误差校正算法与现有的迭代随机相移算法(AIA)精度相当,但计算速度得到明显提升。
- 刘锋伟吴永前伍凡
- 一种基于液体透镜的面型检测方法
- 本发明涉及一种基于液体透镜的面型检测方法，它主要是根据液体透镜的特性实现了自变焦的功能，在检测过程中改变电压，通过观察CCD接收到的从待测面反射的光信号的强度，当光强度达到极值即透镜焦距刚好在待测面的一个检测点上，以此时...
- 吴永前肖康刘锋伟徐燕陈小君刘源超周平邓婷覃蝶
- 一种基于DMD波前传感技术的反射式大陡度非球面及自由曲面检测装置和方法
- 本发明涉及一种基于DMD波前传感技术的反射式大陡度非球面及自由曲面检测装置和方法，属于光学检测领域。该方法引入数字微镜阵列(DMD)对畸变波前像差进行测量，结合光线追迹软件实现非球面及自由曲面的非零位检测。具体通过对DM...
- 刘锋伟吴永前闫锋涛
- 文献传递
- 一种基于双波长干涉的超高精度面形测量方法
- 本发明公开了一种基于双波长干涉的超高精度面形测量方法，属于光学检测领域。该方法在菲索干涉仪的基础上引入两个不同中心波长的可调谐激光器。对同一被测镜进行干涉测量时，通过计算两个不同波长的激光器移动相同的相位(比如pi/2)...
- 刘锋伟吴永前肖向海陈小君
- 文献传递
- 一种基于液体透镜的面型检测方法
- 本发明涉及一种基于液体透镜的面型检测方法，它主要是根据液体透镜的特性实现了自变焦的功能，在检测过程中改变电压，通过观察CCD接收到的从待测面反射的光信号的强度，当光强度达到极值即透镜焦距刚好在待测面的一个检测点上，以此时...
- 吴永前肖康刘锋伟徐燕陈小君刘源超周平邓婷覃蝶
- 文献传递
- 亚纳米超高精度光学面形干涉测量技术及应用
- 2024年
- 超高精度干涉检测技术是大规模集成电路制造、同步辐射、引力波探测等领域的核心技术之一,也是天文、成像等诸多领域的关键技术之一。鉴于该项技术的重要性,国外对亚纳米或更高精度干涉仪采取了严格的限制措施,我国只能引进其二流的设备。只有立足于自主创新,突破超高精度检测的核心技术,才能满足我国对高精度检测的需求。
- 吴永前刘锋伟陈强陈小君徐燕赵文川闫锋涛
- 关键词：大规模集成电路干涉仪
- 一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法
- 本发明涉及一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法，属于光电技术检测领域，所述测量系统包括激光器、扩束系统透镜组、刻蚀不透明点的平面透镜、成像CCD和一维电控移动台构成；本发明基于环形扫描斜率提取的非球面面形测量...
- 吴永前黄传科范斌刘锋伟
- 文献传递
