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田娜
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第二研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
卫晓冲
中国电子科技集团公司第二研究所
张峰
中国电子科技集团公司第二研究所
庞师军
中国电子科技集团公司第二研究所
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1篇
2011
1篇
2010
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硅芯硅棒自动清洗设备的研制
被引量:1
2011年
通过分析硅芯硅棒清洗方式的现状,提出其自动清洗设备研制的必要,介绍了全自动硅芯硅棒清洗机的技术参数和工艺流程,详细分析了设备的结构设计,包括工艺清洗系统、传动系统、电气控制系统、排风系统、管路系统和设备主体等。
卫晓冲
张峰
田娜
视觉系统在硅片检测上的应用
被引量:1
2010年
机器视觉是利用机器代替人眼来做各种测量和判断。介绍了全自动硅片装片机中利用视觉系统对硅片的边缘进行检测,在线将有缺陷的硅片剔除,将完好的硅片送入下一个环节。大大降低了人工强度和碎片率,减少了人工与硅片的接触,避免了人为因素对硅片的污染,有效地提高了成品率。
田娜
庞师军
卫晓冲
关键词:
硅片
视觉系统
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