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超导真空桥及其制备方法: 本发明公开了一种超导真空桥及其制备方法，该制备方法包括：在衬底上旋涂LOR材料作为LOR牺牲层；在LOR牺牲层上旋涂第一光刻胶，进行掩膜曝光，该掩膜曝光定义出桥墩的位置；进行第一显影，得到桥墩和桥拱的三维结构；利用第一光...; 荣皓邓辉龚明吴玉林梁福田廖胜凯彭承志朱晓波潘建伟

超导真空桥及其制备方法: 本发明公开了一种超导真空桥及其制备方法，该制备方法包括：在衬底上旋涂LOR材料作为LOR牺牲层；在LOR牺牲层上旋涂第一光刻胶，进行掩膜曝光，该掩膜曝光定义出桥墩的位置；进行第一显影，得到桥墩和桥拱的三维结构；利用第一光...; 荣皓邓辉龚明吴玉林梁福田廖胜凯彭承志朱晓波潘建伟; 文献传递

单压电片变形镜及其制造方法: 本发明公开了一种单压电片变形镜及其制造方法，首先提供包括非反光表面和反光表面的镜面层；然后将镜面层与带有上、下电极层的驱动层进行连接，其中所述镜面层的非反光表面与所述驱动层的上电极层连接；以及对所述驱动层的下电极层进行图...; 褚家如马剑强李保庆刘莹荣皓何挺; 文献传递

单压电片变形镜及其制造方法: 本发明公开了一种单压电片变形镜及其制造方法，首先提供包括非反光表面和反光表面的镜面层；然后将镜面层与带有上、下电极层的驱动层进行连接，其中所述镜面层的非反光表面与所述驱动层的上电极层连接；以及对所述驱动层的下电极层进行图...; 褚家如马剑强李保庆刘莹荣皓何挺

用于热机械微纳加工的掺Al多晶硅加热器被引量：1: 2011年; 针对热机械式微纳米结构的加工,提出了一种以掺Al多晶硅为材料,集成于微悬臂梁上的加热器。采用Al诱导退火晶化(AIC)方法,在750 K对Al/a-Si∶H复合薄膜低温晶化18 h,制备出掺Al多晶硅。通过低温退火,使复合薄膜的拉曼特征峰由478 cm-1移至520 cm-1,完成由非晶硅向多晶硅的转变;由四探针仪测得室温下样品的电阻率由退火前的1010Ω.cm降至16.8×10-3Ω.cm,实现了多晶硅的Al掺杂;在扫描电镜下观测到退火后Al与a-Si∶H层的界限消失并形成一层均匀的薄膜;这些结果表明得到了晶化程度很高的Al掺杂多晶硅。继而研究了掺Al多晶硅与氮化硅悬臂梁的集成工艺,采用微加工方法将掺Al多晶硅制成微加热器。使用ANSYS软件仿真加热器的工作过程,在10 V,0.3μs脉冲驱动下,加热器升温至782.8 K,降温时间约1μs。仿真分析显示,采用AIC法制得的掺Al多晶硅具有良好的热电特性,符合用于对高分子材料进行热机械微纳加工的微加热器的性能要求。; 荣皓赵钢褚家如; 关键词：热机械加工微加热器多晶硅

超导真空桥及其制备方法: 本发明公开了一种超导真空桥及其制备方法，该制备方法包括：在衬底上旋涂LOR材料作为LOR牺牲层；在LOR牺牲层上旋涂第一光刻胶，进行掩膜曝光，该掩膜曝光定义出桥墩的位置；进行第一显影，得到桥墩和桥拱的三维结构；利用第一光...; 荣皓叶杨森王石宇严凯张海斌邓辉朱晓波潘建伟; 文献传递

聚甲基丙烯酸甲酯薄膜的弹性模量测量研究被引量：3: 2011年; 高聚物材料由于其易热变形、常温下状态稳定且不易被破坏等优点,是新型的存储技术———基于扫描探针显微术(SPM)的热机械超高密度信息存储技术的理想存储介质材料,存储介质的力学特性是影响热机械形成的数据斑形貌的重要因素。实验使用纳米压痕法对270nm厚聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)薄膜的弹性模量进行测试,采用两次保载过程,有效地消除了材料的黏性对测试结果的影响。同时研究了基底效应的影响,通过引入与深度相关的影响因子估算基底的影响,得到PMMA薄膜在常温下的弹性模量为6.5GPa。; 许兴中赵钢刘勇荣皓褚家如; 关键词：聚甲基丙烯酸甲酯纳米压痕弹性模量黏性

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荣皓