邢永燕
- 作品数：5 被引量：3H指数：1
- 供职机构：西南科技大学更多>>
- 发文基金：四川省非金属复合与功能材料重点实验室一省部共建国家重点实验室培育基地开放基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 沉积温度对磁控溅射Ni_3Al-Cr薄膜微观结构及性能的影响被引量：1
- 2013年
- 通过磁控溅射分别在300、400、500和600℃下沉积了Ni3Al-Cr薄膜。采用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)表征了薄膜的晶体结构和表面形貌,通过方阻法检测了薄膜的抗腐蚀性能,采用纳米压痕表征了薄膜的硬度。结果表明,沉积温度对薄膜的微观结构、抗腐蚀及力学性能有重要影响。随着沉积温度的升高,薄膜晶粒及颗粒尺寸增大,300℃时形成尺寸均匀的立方体小颗粒,400和500℃时颗粒长大且致密堆积,600℃时部分颗粒过度长大。在400℃沉积的薄膜兼具最优的抗腐蚀性和力学性能。证明了方阻法表征薄膜抗腐蚀性能的可靠性。
- 邢永燕魏贤华马拥军代波
- 关键词：磁控溅射微观结构抗腐蚀性能
- 金属间化合物Ni_3Al薄膜的制备及性能研究被引量：2
- 2012年
- 采用直流磁控共溅射法,在衬底温度为450℃的SiO2基体上制备了厚度为500nm的Ni3Al薄膜,X射线衍射(XRD)和透射电子显微镜(TEM)等测试表明,薄膜为(111)取向的L12型晶体结构金属间化合物。采用纳米压痕方法测试了薄膜的力学性能,其硬度为8.00GPa,弹性模量为200GPa。为克服亚微米级薄膜氧化增重难以测量的困难,采用四探针测试金属薄膜电阻的方法,间接给出了薄膜的腐蚀性能和高温氧化程度。结果表明Ni3Al金属间化合物薄膜的氧化速率为2.28×10-13g2/(cm4.s),薄膜具有良好的高温抗氧化性能。
- 王明邢永燕马拥军代波
- 关键词：磁控溅射微观结构高温氧化性能力学性能
- 一种铁磁/反铁磁多层膜钉扎材料及其制备方法
- 本发明公开了一种铁磁/反铁磁多层膜钉扎材料及其制备方法，该多层膜钉扎材料包括基片和在基片上设置的缓冲层、铁磁层I、反铁磁层、铁磁层II和设于其上的保护层；其制备方法是在基片上采用磁控溅射依次沉积各层得到该多层膜材料。采用...
- 代波蒋庆林邢永燕
- 一种铁磁/反铁磁多层膜钉扎材料及其制备方法
- 本发明公开了一种铁磁/反铁磁多层膜钉扎材料及其制备方法，该多层膜钉扎材料包括基片和在基片上设置的缓冲层、铁磁层I、反铁磁层、铁磁层II和设于其上的保护层；其制备方法是在基片上采用磁控溅射依次沉积各层得到该多层膜材料。采用...
- 代波蒋庆林邢永燕
- 文献传递
- Ni3Al/Cr多层膜的制备及性能研究
- 本论文采用直流磁控溅射制备了亚微米厚度的Ni3Al单层膜和Ni3Al/Cr多层膜。通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、透射电子显微镜(TEM)表征了薄膜的晶体结构和微观形貌。采用四探针测试薄膜方阻的方法间接...
- 邢永燕
- 关键词：磁控溅射微观形貌抗腐蚀性能氧化动力学
