曲燕青
- 作品数：5 被引量：28H指数：2
- 供职机构：西南大学更多>>
- 发文基金：重庆市自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程理学电子电信金属学及工艺更多>>
- 含应力缓和层的硬质薄膜及其制备方法
- 含应力缓和层的硬质薄膜及其制备方法，通过在金属氮化物薄膜中，每隔一定间隔加入一定厚度的同样金属层构成的多层结构来降低薄膜的内部应力，防止薄膜从基体脱落。该多层膜是由沉积氮化物和沉积金属层两个过程重复交替进行而成。本发明可...
- 聂朝胤田鹏曲燕青张碧云
- 文献传递
- 类金刚石膜的制备技术及应用领域概况被引量：20
- 2007年
- 简要介绍了类金刚石膜的结构,综述了类金刚石膜的传统制备方法以及其制备方法的基本原理和优缺点,同时介绍了几种近年发展起来的新兴制备方法,与传统制备方法相比,它更能提高膜的沉积速率和质量。总结了类金刚石膜在机械、电子、光学、医学、航空等领域的应用状况。同时指出,随着DLC技术上的成熟,其必将在更多领域发挥越来越大的作用。
- 张碧云曲燕青谢红梅聂朝胤
- 关键词：类金刚石
- 电弧离子镀工艺参数对CrSiN薄膜性能影响的研究被引量：7
- 2006年
- 利用电弧离子镀方法,在(SCM415)钢基体上制备了Cr-Si-N薄膜.通过调节Cr-Si靶中Si的比例,沉积了Si含量不同的Cr-Si-N薄膜.讨论了Si含量、偏压对薄膜硬度的影响.添加Si后得到的纳米复合薄膜Cr-Si-N的硬度比单纯的CrN薄膜有了显著的提高.采用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)对Cr-Si-N薄膜进行分析,研究讨论了Cr-Si-N薄膜的成分、结构及薄膜硬度增强的微观机制.
- 曲燕青聂朝胤陈志谦
- 关键词：电弧离子镀显微硬度
- 电弧离子镀CrSiN薄膜基本性能的研究
- 表面涂层的历史可以追溯到一千多年以前，最早应用于表面涂层的是TiN硬质薄膜，其次是CrN薄膜，它们已经广泛地应用于刀具、模具、机械等领域。但是TiN、CrN均属于单相二元薄膜，随着机械加工技术的发展和机械零部件使用环境越...
- 曲燕青
- 关键词：电弧离子镀
- 文献传递
- 类金刚石薄膜的耐热性研究进展被引量：2
- 2007年
- 类金刚石薄膜具有良好的物理化学性能、光电性能、机械性能及摩擦学性能。但是在高于400℃的温度条件下,DLC膜易向石墨结构转变,从而阻碍了其在高温条件下的应用。因此关于类金刚石薄膜耐热性的研究是目前的一个热门研究课题。在综合分析近年来该领域研究的基础上总结了影响DLC膜耐热性的3种因素:膜结构、掺杂、制备方法,并分析了各种因素的影响机理。
- 谢红梅聂朝胤张碧云曲燕青
- 关键词：类金刚石膜石墨耐热性
