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韩建强

作品数：57 被引量：0H指数：0
供职机构：中国计量大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电气工程电子电信环境科学与工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 52篇专利
  • 3篇科技成果
  • 2篇期刊文章

领域

  • 3篇电气工程
  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信
  • 1篇天文地球
  • 1篇建筑科学
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇文化科学

主题

  • 20篇微电子
  • 20篇微电子机械
  • 20篇微电子机械系...
  • 14篇电阻
  • 14篇谐振
  • 12篇加速度
  • 10篇热电阻
  • 10篇谐振梁
  • 10篇加热电阻
  • 10篇感器
  • 10篇传感
  • 10篇传感器
  • 9篇制作方法
  • 8篇谐振式
  • 8篇芯片
  • 8篇加速度计
  • 7篇直流
  • 7篇中性面
  • 7篇谐振器
  • 6篇应力

机构

  • 54篇中国计量大学
  • 5篇赣南师范大学
  • 2篇中国科学院

作者

  • 57篇韩建强
  • 16篇李青
  • 7篇牛文举
  • 6篇尹伊君
  • 5篇袁寿财
  • 5篇程冰
  • 4篇吴秀山
  • 3篇施阁
  • 3篇申屠南瑛
  • 3篇李弘洋
  • 3篇童仁园
  • 3篇孙叶青
  • 2篇廖昱博
  • 2篇袁新娣
  • 2篇王燕杰
  • 2篇谢晓春
  • 2篇李青
  • 2篇王兴权
  • 2篇张杰
  • 2篇周凯

传媒

  • 2篇赣南师范大学...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 1篇2022
  • 3篇2021
  • 5篇2020
  • 8篇2019
  • 6篇2018
  • 10篇2017
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 3篇2014
  • 1篇2013
  • 5篇2012
  • 2篇2011
  • 1篇2010
  • 3篇2009
  • 1篇2008
  • 2篇2007
共 57 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种可隔离封装应力的谐振式红外探测器结构及制作方法
本发明公开了一种可隔离封装应力的谐振式红外探测器的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。其特征在于：谐振式红外探测器由微桥谐振器芯片和下底板组成。其中微桥谐振器芯片由微桥谐振器(1)、矩形框架(2)、两根支撑梁(3)、...
韩建强李森林李琰李青
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谐振‑力平衡电容式三轴加速度传感器及制作方法
本发明公开了一种谐振‑力平衡电容式三轴加速度传感器的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。其结构特征在于三轴加速度传感器由中间硅片(1)、上盖板(2)和下底板(3)组成；其中，中间硅片(1)由双端固支梁谐振器(4)、质...
韩建强
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一种低温度交叉灵敏度的微悬臂梁谐振器
本发明公开了一种具有较低谐振频率温度系数的微悬臂梁谐振器。该谐振器采用二氧化硅/硅或二氧化硅/氮化硅双层结构实现悬臂梁谐振频率的温度自补偿。通过理论计算和实验验证表明硅/二氧化硅双层悬臂梁谐振器的硅和二氧化硅薄膜最优厚度...
韩建强李青李昕欣王跃林韩安太孙延伟
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一种悬空微结构的正面释放技术
本发明公开了一种悬空微结构的正面释放技术。以重掺杂硅片(1)作为衬底淀积组成微结构(2)的薄膜材料，然后光刻并刻蚀出腐蚀窗口(3)，最后在各向异性腐蚀液中正面腐蚀，在沿(100)面(4)纵向腐蚀的同时也沿(111)面(5...
韩建强韩东牛文举
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一种带有幅度检测的数控LC压控振荡器
本发明公开了一种带有幅度检测的LC压控振荡器，包括LC振荡器和振荡信号幅度检测单元。LC振荡器由LC频率谐振单元、电容阵列单元以及变容管阵列单元组成；输出幅度检测单元由一个带尾电流源的差分放大电路和一个带开关控制的传输门...
吴秀山韩建强王艳智俞丙威
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一种新型谐振式薄膜热电变换器的结构及制作方法
本发明公开了一种新型谐振式薄膜热电变换器的结构与制作方法。薄膜热电变换器由制作在同一衬底(1)上的加热电阻(2)、微桥谐振器A(3)、微桥谐振器B(4)组成。在加热电阻(2)通电后产生并辐射的热量引起微桥谐振器A(3)温...
韩建强厉森程冰尹伊君
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一种基于微桥谐振器的新型红外探测器结构及制作方法
本发明公开了一种基于微桥谐振器的新型红外探测器的结构及制作方法。该红外探测器由微细加工技术制作的微桥1、具有负电阻温度系数的激励电阻2和检测元件3、金属引线4和衬底5组成。入射红外辐射的热效应使得具有负电阻温度系数的激励...
韩建强李青王小飞
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一种湿法腐蚀过程中芯片正面金属及多晶硅材料的保护技术
本发明公开了一种湿法腐蚀过程中芯片正面金属及多晶硅材料的保护技术，腐蚀过程中芯片正面金属及多晶硅材料采用氮化硅薄膜保护。氮化硅薄膜采用平板型等离子体化学气相沉积(PECVD)设备淀积。淀积温度350～420℃，13.56...
韩建强尹伊君韩东
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一种基于多元薄膜热电变换器的高精度电压表
本发明公开了一种基于多元薄膜热电变换器的高精度电压表的系统构成及工作机理，属于微电子机械系统领域。其结构特征在于高精度电压表由多元薄膜热电变换器(1)、滤波电路1(2)和2(3)、线性化电路1(4)和2(5)、差分放大电...
韩建强沈烽朱永胜
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一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法
本发明公开了一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法。薄膜热电变换器由制作在同一硅片(1)上的加热电阻(2)、双端固支梁(3)、激励电极(4)和检测电容(5)组成。加热电阻(2)通电后产生并辐...
韩建强张杰牛文举尹伊君程冰
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