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吴明月

作品数：47 被引量：48H指数：4
供职机构：哈尔滨工业大学机电工程学院机器人技术与系统国家重点实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家科技重大专项国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学交通运输工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 41篇专利
  • 5篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 15篇自动化与计算...
  • 2篇机械工程
  • 2篇交通运输工程
  • 2篇文化科学
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 22篇硅片
  • 17篇机器人
  • 11篇硅片传输机器...
  • 9篇回转
  • 9篇传动
  • 8篇Z轴
  • 7篇电机
  • 6篇同轴
  • 6篇空间结构
  • 6篇回转半径
  • 5篇伺服
  • 5篇轴承
  • 5篇力矩
  • 4篇导轨
  • 4篇电机轴
  • 4篇受力
  • 4篇拧紧
  • 4篇机械臂
  • 4篇滚珠
  • 4篇程序编制

机构

  • 47篇哈尔滨工业大...

作者

  • 47篇吴明月
  • 46篇刘延杰
  • 40篇孙立宁
  • 40篇荣伟彬
  • 2篇蔡鹤皋
  • 2篇王刚
  • 1篇郑小飞
  • 1篇刘蕾
  • 1篇王飞
  • 1篇韩海军
  • 1篇栾玉亮
  • 1篇梁铁柱
  • 1篇梁乐

传媒

  • 1篇机械传动
  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇机械工程学报
  • 1篇机械与电子
  • 1篇机器人

年份

  • 3篇2015
  • 3篇2014
  • 9篇2013
  • 8篇2012
  • 13篇2011
  • 9篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
共 47 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种Z轴传动结构
一种Z轴传动结构，使用三角支撑滑套(6)及三套LF型直线滚珠花键轴/直线滚珠衬套组合(3)替代立柱，作为主体支撑结构。由于LF型直线滚珠花键轴/直线滚珠衬套组合(3)具有很高的传动精度，而且安装在圆周内呈120°均布，因...
刘延杰吴明月荣伟彬孙立宁
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硅片传输机器人Z轴双重限位机构
一种硅片传输机器人的Z轴双重限位机构。电子限位应用了光电传感器原理，属于无触点式的电子开关，限位精度高，无机械磨损、使用寿命长。机械硬限位使用金属材料，约束面积大、刚性高，有利于Z轴电机迅速产生过载力矩而报警断电，防止因...
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一种双螺母同轴联接机构
一种双螺母同轴联接机构，结构合理，能够适应正反转交变扭矩、具有高同轴回转精度、高可靠性、无空回程、高效率传递扭矩、节省空间。通过控制传动轮(1)、传动轴(4)的加工精度，可以控制其联接精度。通过两个螺母的拧紧力使其贴合面...
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一种同轴联接机构
一种同轴联接机构，包括次级传动轮(1)、主传动轮轴(2)、联接板(3)，联接螺钉(4)；所述次级传动轮(1)底面具有止口，所述止口上均布第一组螺孔，所述主传动轮轴(2)上均布第二组螺孔，所述联接板(3)上设置有与所述次级...
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一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构
一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程，适用于对高度尺寸方向没有限制的R轴空间结构。本发明的W轴同轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端...
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一种应用于高洁净度环境下的双臂传输机器人
一种应用于洁净环境下的双臂传输机器人，用于高洁净度环境下、大直径半导体硅片的传输与高精度定点置放的。双臂传输机器人的结构形式为R-θ型，其工作原理是基于柱坐标系的空间结构，具有各运动轴可以独立控制的特点。双臂传输机器人主...
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大升降伸缩比双臂晶圆传输机械手
大升降伸缩比双臂晶圆传输机械手，它涉及一种晶圆传输机械手。本发明解决了现有的晶圆传输机械手存在的线路及气管连接的可靠性低、使用寿命短、竖直方向行程受限制而不能满足竖直方向大伸缩比运动的需求和拆装维修不便的问题。本发明的辅...
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晶圆传输机器人关键控制技术研究
集成电路(IC)是电子信息产业的核心，是推动国民经济和社会信息化发展的高新技术之一。IC制造装备技术是IC产业得以快速发展的重要基础技术。晶圆传输系统是IC装备中必不可少的组成部分，其中的晶圆传输机器人是晶圆传输系统的关...
吴明月
关键词：刚体动力学集成电路关节力矩
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一种集成断电制动装置的Z轴伺服电机
一种集成断电制动装置的Z轴伺服电机，属于半导体芯片设备制造领域，为了解决现有Z轴伺服电机的制动装置响应不够迅速、制动力矩不够大的问题。它由Z轴伺服电机和断电制动装置组成，断电制动装置包括环形侧壁、固定磨擦片、间距定位套、...
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文献传递
一种硅片传输机器人
一种硅片传输机器人，用于完成较大传输空间的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径过大而不能及、且行走轨迹较为复杂时，采用本发明的特殊结构的硅片传输机器人，能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度...
刘延杰吴明月荣伟彬孙立宁
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