陈晓钰
- 作品数：14 被引量：31H指数：4
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程理学电子电信更多>>
- 点衍射干涉系统光学结构参数优化研究被引量：5
- 2014年
- 采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点衍射干涉系统和Zygo干涉仪对球面镜的测量结果,得到测量面形误差的均方根之差为波长的1/1000,且获得的干涉条纹具有合适的对比度和亮度,验证了光学结构参数选择的合理性。
- 邵卫红杨甬英陈晓钰刘东沈亦兵
- 关键词：时域有限差分方法衍射光强
- 大口径光学元件表面灰尘与麻点自动判别被引量：8
- 2014年
- 在大口径光学元件表面疵病初检时,灰尘和麻点由于形态类似,不易区分。针对该问题,提出了一种基于模式识别理论的灰尘麻点判别方法。该判别方法以既有的疵病检测系统为基础,根据灰尘麻点的暗场成像特点,选取了合适的特征并根据因子分析理论对特征进行变换,最后基于贝叶斯判别原理对灰尘麻点进行分类。采用自制定标板建立了灰尘麻点训练样本库,并进行多组实验,选取了合适的判别函数,最后进行了对未知样品表面灰尘麻点的区分。实验结果表明,该判别方法的正确率可以达到95%以上。目前此判别方法已经用于惯性约束聚变系统中大口径光学元件表面灰尘与麻点自动区分。
- 李璐杨甬英曹频严路王世通陈晓钰沈亦兵刘东
- 关键词：表面疵病麻点模式识别
- 球面干涉检测中改进的调整误差校正方法
- 2012年
- 根据球面干涉检测中待测球面调整误差的高阶近似模型,提出新的基于泽尼克多项式拟合的球面调整误差校正方法.该方法根据测得原始面形数据的泽尼克多项式系数以及待测面数值孔径,得到调整误差所引入的低阶和高阶像差量,实现高精度球面调整误差校正.通过Zygo干涉仪及大数值孔径待测球面对提出的校正方法进行实验验证,校正精度达到了均方根值近0.001λ、峰谷值0.011λ.实验结果表明,该方法可以实现很高的球面调整误差校正,无需了解实际调整误差量,便于自动化处理,可以降低检测装置中对待测面调节机构精度的要求.
- 王道档杨甬英邵卫红陈晓钰
- 关键词：光学检测球面大数值孔径
- 大尺寸光学元件高精度调平方法与装置
- 本发明公开了一种大尺寸光学元件高精度调平方法与装置。本发明利用高倍率显微镜对元件表面不同位置的三特征点分别进行连续多幅暗场灰度图像采集，计算图像灰度信息熵值，拟合灰度信息熵值与显微镜轴向移动距离曲线，通过搜寻曲线中极小值...
- 杨甬英曹频陈晓钰王世通卓永模
- 文献传递
- 光学表面疵病暗场检测中疵病宽度标定标准化系统及方法
- 本发明公开了一种光学表面疵病暗场检测中疵病宽度标定标准化系统及方法。本发明解决了疵病检测中物面疵病的实际宽度与CCD成像像素宽度的关联问题。本发明的技术特点在于：为模拟存在疵病的光学表面，制作一个刻有一系列标准宽度刻线的...
- 杨甬英陈晓钰王世通高鑫卓永模
- 大尺寸光学元件高精度调平方法与装置
- 本发明公开了一种大尺寸光学元件高精度调平方法与装置。本发明利用高倍率显微镜对元件表面不同位置的三特征点分别进行连续多幅暗场灰度图像采集，计算图像灰度信息熵值，拟合灰度信息熵值与显微镜轴向移动距离曲线，通过搜寻曲线中极小值...
- 杨甬英曹频陈晓钰王世通卓永模
- 高精度点衍射干涉仪球面面形检测系统优化及分析研究
- 在高精度的光学加工和装调过程中，相应的高精度检测技术具有着重要的辅助和保障作用。在众多的光学检测方法中，点衍射干涉检测技术作为一种可以实现优于亚纳米级检测精度的技术手段，成为了最具发展潜力的高精度检测方法之一。其中，针孔...
- 陈晓钰
- 关键词：点衍射干涉仪
- 点衍射干涉检测技术被引量：10
- 2017年
- 本文介绍了点衍射干涉仪不同发展阶段的特点和应用。点衍射干涉仪由波长量级的针孔产生高质量的球面波作为参考波前,能够得到衍射极限性能的分辨率。按照不同的光路特点,点衍射干涉仪可分为点衍射共路干涉和点衍射非共路干涉两种结构,主要应用于高精度波前检测和面形检测。共路干涉结构简单紧凑,对环境振动不敏感,对光源相干度要求不高,可利用光束偏振态及光栅衍射分束的特性对传统点衍射板进行改造,在全共路点衍射干涉仪中引入时间相位调制技术和干涉对比度可调技术,可进一步提高波前检测精度。采用反射式针孔和各种光纤结构发展了非共路点衍射干涉仪,实现了大口径、高精度球面反射镜面形的测量。本文重点阐述了用于极紫外光刻投影物镜中高精度球面反射镜面形检测的反射式针孔点衍射干涉仪,并展望了点衍射检测技术在生物检测等领域的应用前景和发展趋势。
- 李瑶杨甬英王晨陈元恺陈晓钰
- 关键词：生物检测
- 光学表面疵病暗场检测中疵病宽度标定标准化方法
- 本发明公开了一种光学表面疵病暗场检测中疵病宽度标定标准化系统及方法。本发明解决了疵病检测中物面疵病的实际宽度与CCD成像像素宽度的关联问题。本发明的技术特点在于：为模拟存在疵病的光学表面，制作一个刻有一系列标准宽度刻线的...
- 杨甬英陈晓钰王世通高鑫卓永模
- 文献传递
- 超光滑表面缺陷检测系统及其畸变校正方法
- 本发明提出了一种超光滑表面缺陷检测系统及其畸变校正方法。本发明解决了超光滑表面缺陷检测系统中因为存在光学畸变而造成的子图像拼接时的缺陷断裂问题。本发明的技术特点在于，设计了一种超光滑表面缺陷检测系统和畸变校正标准板及标准...
- 杨甬英王世通曹频陈晓钰卓永模
