程进
- 作品数:11 被引量:8H指数:2
- 供职机构:西安工业大学更多>>
- 发文基金:国防基础科研计划中国人民解放军总装备部预研基金陕西省教育厅科研计划项目更多>>
- 相关领域:电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 基于可调超表面的激光散斑抑制方法被引量:3
- 2020年
- 为抑制激光散斑现象,利用时间平均抑制散斑理论的基本思想,设计了一个具有高透射率、随机相位功能的超表面结构,并结合MEMS技术实现了微纳旋转载台的设计制造,实现了超小型的散斑抑制器件制造.实验结果显示激光散斑对比度可降低至2.63%,满足激光投影领域使用需求.该激光散斑抑制器件使用方法简单、能量利用率高、成本低且易于批量制造.
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- 关键词:激光显示随机相位
- 用于SAW器件制造的键合减薄技术被引量:3
- 2013年
- 铌酸锂(LiNbO3)作为一种压电材料,常被用于声表面波(SAW)器件的压电层,通常LiNbO3晶片厚度为500μm,而实际上压电层的有效利用厚度为λ~2λ(λ为声表面波波长)。为能实现SAW器件的高度集成化,需用键合减薄及抛光技术对LiNbO3进行加工处理。用粒径100nm的SiO2抛光液对减薄后的铌酸锂晶体样品进行化学机械抛光,研究了抛光垫、抛光盘转速、压力及抛光时间对抛光过程的影响。抛光结果表明最佳抛光工艺参数是:采用阻尼布抛光盘,100nm的SiO2抛光液,转速为120r/min,压力为3.9N,抛光时间为40min。经测试样品厚度为80μm,样品的最小粗糙度Ra=0.468nm,Rq=0.593nm(Ra为算术平均粗糙度,Rq为均方根粗糙度)。
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- 关键词:抛光
- 基于POS声表面波器件制造技术研究
- 铌酸锂(LiNbO3)作为一种压电材料,常被用于声表面波(SAW)器件的压电层。通常LiNbO3晶片的厚度远大于SAW器件要求的厚度,难以满足SAW器件高集成化的需求,本文提出了基于POS (Piezoelectrics...
- 程进
- 关键词:SAW器件键合
- 文献传递
- 一种高精度多维信息光学检测系统及其检测方法
- 本发明涉及光学检测领域,具体涉及一种高精度多维信息光学检测系统及其检测方法,所述检测系统包括:CCD成像光路上依次设置的微透镜阵列、镜头、线性渐变滤光片,所述线性渐变滤光片位于平移台上,平移台通过控制器与PC连接。本发明...
- 谢一博孙泽华周顺程进刘卫国李庞跃
- 一种基于局部窗口的噪声滤波方法及系统
- 本发明公开了一种基于局部窗口的噪声滤波方法及系统,应用于图像滤波技术领域,包括:在所采集的激光条纹图像上定义一个预设窗口大小的局部列窗口,并获取局部列窗口的中心像素;分别计算中心像素与局部列窗口内其余像素之间的高斯相关性...
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- 一种针对激光散斑的图像噪声抑制方法及系统
- 本发明公开了一种针对激光散斑的图像噪声抑制方法及系统,涉及图像噪声抑制技术领域,首先获取两张相同位置的激光图像,并进行二维离散小波变换,得到高、低频图像;对高、低频图像进行融合,得到高频融合图像和低频融合图像;使用优化的...
- 谢一博程进周顺刘卫国
- 一种激光散斑抑制装置及方法
- 本发明公开了一种激光散斑抑制装置及方法,属于光学技术领域,由激光光源、准直透镜、半透半反镜、分光膜层阵列、探测器组成,激光光源输出相干激光;准直透镜对激光光束准直后,再由半透半反镜垂直射入分光膜层阵列;分光膜层阵列将入射...
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- 一种激光高效合束的散斑抑制装置及方法
- 本发明公开了一种激光高效合束的散斑抑制装置及方法,涉及光学技术领域,包括:偶数个激光光源、与激光光源数目对应的准直透镜、1/2个激光源数目的反射镜、1/2个激光源数目的偏振合束棱镜、望远系统、扩束透镜和光屏。本发明散斑抑...
- 程进焦佳庆郑欣妍周顺刘卫国
- 一种微纳消散斑器件
- 本发明公开了一种微纳消散斑器件,涉及光学技术领域。包括上层光学玻璃、光学腔室、散射粒子、振动结构、衬底结构、驱动装置以及下层光学玻璃;其中,所述振动结构与所述散射粒子均位于所述光学腔室中,所述驱动装置用于给所述振动结构加...
- 程进李庞跃周顺孙雪平刘卫国
- 一种混合集成的声表面波器件结构
- 本发明涉及一种混合集成的声表面波器件结构,特别适用于高频、高机电耦合系数、高集成度的声表面波器件。现有技术声表面波器件的体积和重量较大,无法满足要求苛刻的武器装备。为了解决现有技术中的问题,本发明提供的一种混合集成的声表...
- 刘卫国刘欢蔡长龙高爱华程进
- 文献传递