袁勇
- 作品数：10 被引量：5H指数：1
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金哈尔滨工业大学科研创新基金黑龙江省博士后科研启动基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
- 双工件台宏微快速交接系统研究
- 为了提高光刻机的产率，ASML率先推出了Twinscan系列光刻机，Twinscan方案中两个工件台并行工作在测量位和曝光位，提高了生产效率，但是引入了换台问题。双工件台宏微快速交接系统用于换台前宏动系统和微动台的分离与...
- 袁勇
- 关键词：微动台
- 文献传递
- 一种铝镁合金薄壁舱段制造变形的校形方法
- 本发明提出了一种铝镁合金薄壁舱段制造变形的校形方法，属于热处理变形控制领域。本发明有效解决了现有铝镁合金薄壁舱段制造过程中变形的问题。本发明包括：舱段构件外廓测量，形成数模并将其与理想舱段数模进行三维比对，获得圆度变化的...
- 姜建堂袁勇姜浩邵文柱甄良
- 文献传递
- 消除双支路电机PWM噪声的拓扑
- 本发明公开了一种消除双支路电机PWM噪声的拓扑，所述拓扑包含四个电压源逆变器、三个耦合电感，其中：所述四个电压源逆变器并联在同一母线DC_link上；所述三个耦合电感的结构相同，每个耦合电感的同一铁芯上同相缠绕有四个匝数...
- 徐永向张文韬黄盈亮邹继斌邹继明禹国栋徐峰袁勇覃万健张锦
- 文献传递
- 一种铝镁合金薄壁舱段制造变形的校形方法
- 本发明提出了一种铝镁合金薄壁舱段制造变形的校形方法，属于热处理变形控制领域。本发明有效解决了现有铝镁合金薄壁舱段制造过程中变形的问题。本发明包括：舱段构件外廓测量，形成数模并将其与理想舱段数模进行三维比对，获得圆度变化的...
- 姜建堂袁勇姜浩邵文柱甄良
- 双工件台宏微交接系统设计及实验被引量：4
- 2015年
- 为了减少光刻机双工件台换台的时间,保证宏动系统与微动台的可靠连接,设计了一种双工件台快速宏微交接系统。基于柔性杠杆机构设计系统的快速抓卡装置以保证结构的紧凑性,并对其锁紧力进行了分析;设计的抓卡装置中的柔性机构包括柔性杠杆及下夹板回复单元,采用有限元方法对其进行了分析。设计了快速抓卡装置的充放气回路;为了保证抓卡装置锁紧时的速度和安全性,气动系统可实现抓卡装置锁紧的3个动态过程,从而完成抓紧装置的缓冲锁紧。最后,搭建了抓卡装置下夹板运动测量实验平台和锁紧力测量实验平台。实验结果表明:抓卡装置下夹板的运动行程大于2 mm,能够保证宏动系统和微动台交接过程的安全性。抓卡装置的开启时间为350 ms,快速缓冲锁紧时间为850ms,可承载的X向驱动力大于700N。该系统满足双工件台工作及换台过程对可靠性和快速性的要求。
- 吴剑威袁勇崔继文刘永猛谭久彬
- 关键词：光刻机
- 光刻机双频激光干涉仪垂向测量光路反射镜调整装置
- 光刻机双频激光干涉仪垂向测量光路反射镜调整装置属于光学元件调整技术领域；该装置包括反射镜、反射镜座、两个调整脚座总成、一个固定脚座总成，反射镜粘接在反射镜座上并通过三个拉簧补偿反射镜的重力变形，在反射镜座上安装有两个调整...
- 吴剑威谭久彬胡鹏程袁勇
- 文献传递
- 一种用于舱段构件圆度控制的可调节内撑约束装置
- 一种用于舱段构件圆度控制的可调节内撑约束装置，属于制造变形控制技术领域。本发明解决了现有的舱段类构件在热处理过程中易发生圆度畸变的问题。它包括中心限位柱及至少两个同轴套装在中心限位柱上的环向顶正组件，其中每个环向顶正组件...
- 姜建堂姜浩袁勇邵文柱甄良
- 文献传递
- 双工件台宏微快速交接机构
- 双工件台宏微快速交接机构属于夹持抓卡机械，用于光刻机工件台宏动机构和微动台的对接分离，在基体上固装上夹板、第二片簧、杠杆支点和气缸体，动夹头和下夹板配置在上夹板下方，第一片簧将工件台与动夹头连接，可调压力弹簧两端分别与工...
- 吴剑威谭久彬袁勇
- 文献传递
- 双工件台宏微快速交接机构
- 双工件台宏微快速交接机构属于夹持抓卡机械，用于光刻机工件台宏动机构和微动台的对接分离，在基体上固装上夹板、第二片簧、杠杆支点和气缸体，动夹头和下夹板配置在上夹板下方，第一片簧将工件台与动夹头连接，可调压力弹簧两端分别与工...
- 吴剑威谭久彬袁勇
- 文献传递
- 光刻机双频激光干涉仪垂向测量光路反射镜调整装置
- 光刻机双频激光干涉仪垂向测量光路反射镜调整装置属于光学元件调整技术领域；该装置包括反射镜、反射镜座、两个调整脚座总成、一个固定脚座总成，反射镜粘接在反射镜座上并通过三个拉簧补偿反射镜的重力变形，在反射镜座上安装有两个调整...
- 吴剑威谭久彬胡鹏程袁勇
- 文献传递
