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谢岩
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
武汉理工大学
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发文基金:
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
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合作作者
李河
武汉理工大学材料科学与工程学院...
刘桂珍
武汉理工大学材料科学与工程学院...
王德义
武汉理工大学材料科学与工程学院...
周建
武汉理工大学材料科学与工程学院...
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武汉理工大学
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谢岩
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周建
1篇
王德义
1篇
刘桂珍
1篇
李河
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西南科技大学...
年份
2篇
2010
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2
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梯度掺杂AZO薄膜的制备及其性能表征
被引量:2
2010年
采用Sol-Gel法,以不同铝离子浓度的溶胶梯度掺杂的方法制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,用XRD衍射仪和SEM扫描电镜对该薄膜进行了结构和形貌分析,并对其电学性能和光学性能进行了研究。结果表明,梯度掺杂的AZO薄膜比单一浓度掺杂5.0 at%(原子数百分比)的薄膜具有更明显的c轴择优取向,更强的本征紫外发光峰和近紫外发光峰。当薄膜的退火温度在500~650℃区间时,薄膜电阻率稳定在10-2Ω.cm,高于700℃时,薄膜电阻率明显升高。
周建
谢岩
王德义
刘桂珍
李河
关键词:
AZO薄膜
梯度掺杂
SOL-GEL法
Sol-Gel法制备AZO薄膜及其性能研究
铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜,一种新兴的宽禁带半导体材料,其透明导电性可广泛应用于制备透明电极和太阳能电池的透明窗口材料,其紫外发光性能可应用于紫外探测器和激光器。AZO薄膜的制备方法主要有磁控溅射,化学气相沉积以及溶胶-...
谢岩
关键词:
溶胶-凝胶法
光致发光性能
电阻率
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