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孙小孟

作品数：38 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 31篇专利
  • 7篇期刊文章

领域

  • 7篇电子电信
  • 6篇自动化与计算...
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇机械工程
  • 2篇文化科学
  • 1篇化学工程
  • 1篇水利工程
  • 1篇理学

主题

  • 16篇真空规
  • 9篇电容
  • 8篇阻抗匹配
  • 6篇传感
  • 5篇电容式
  • 5篇真空计
  • 5篇阻抗匹配器
  • 5篇感器
  • 5篇半导体
  • 5篇传感器
  • 4篇电极
  • 4篇匹配网络
  • 4篇阻抗匹配网络
  • 3篇电路
  • 3篇信号
  • 3篇气体
  • 3篇功率
  • 3篇负载阻抗
  • 2篇电磁感应原理
  • 2篇电容薄膜

机构

  • 38篇中国科学院微...
  • 5篇北京泰龙电子...
  • 3篇广西科技大学
  • 1篇昆明理工大学
  • 1篇浙江赛威科光...

作者

  • 38篇孙小孟
  • 23篇李超波
  • 22篇郜晨希
  • 11篇李勇滔
  • 7篇夏洋
  • 5篇李英杰
  • 4篇赵章琰
  • 4篇秦威
  • 3篇赵丽莉
  • 2篇杨军
  • 2篇王文东
  • 1篇张庆钊
  • 1篇李英杰
  • 1篇陈盛云
  • 1篇夏洋
  • 1篇张彦会

传媒

  • 3篇电子工业专用...
  • 1篇自动化仪表
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇现代电子技术
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 11篇2025
  • 11篇2024
  • 3篇2023
  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2014
  • 4篇2013
  • 1篇2012
共 38 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种可视化射频阻抗匹配器
本发明公开了一种可视化射频阻抗匹配器，属于半导体工艺设备技术领域。所述可视化射频阻抗匹配器包括检测模块、控制模块、显示模块和阻抗匹配执行模块，检测模块分别与控制模块和阻抗匹配执行模块连接，控制模块与显示模块连接。本发明提...
孙小孟李勇滔李英杰刘训春夏洋
文献传递
一种利用双脉冲信号测量电容值的真空规配套电路及测量方法
本发明涉及一种利用双脉冲信号测量电容值的真空规配套电路及测量方法，属于真空规领域，解决了现有技术由于读数飘移和温度漂移造成的测量精确度低的问题，包括：脉冲信号产生器、信号放大电路、信号处理模块；其中，所述脉冲信号产生器，...
林琳苏涛张心强郑旭郜晨希徐亚辉孙小孟刘瑞琪张沙李超波
ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究被引量：1
2012年
阐述原子层沉积系统(ALD)中射频阻抗匹配器的设计方案。利用ADS软件对阻抗匹配网络进行仿真,通过分析ALD真空腔室内等离子体产生前后的负载阻抗变化,结合仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制方法。经实验验证,该阻抗匹配器和控制方法可实现阻抗匹配。
孙小孟李勇滔夏洋李超波李英杰陈盛云赵章琰秦威
关键词：阻抗匹配网络ALDADS
一种用于薄膜真空规的量程变换器
本申请提供了一种用于薄膜真空规的量程变换器，涉及半导体技术领域。该量程变换器可以包括输入接口、信号处理电路、输出接口；输入接口与薄膜真空规的输出端连接，输入接口将薄膜真空规的输出信号引入信号处理电路中；信号处理电路对薄膜...
苏涛 张心强郜晨希 徐亚辉 刘瑞琪 林琳孙小孟 张沙 郑旭 闫明李超波
一种具有旋转工件台的测量PV组件功率特性的装置
本发明公开了一种具有旋转工件台的测量PV组件功率特性的装置，包括太阳光模拟器、电信号测试电路和运算控制器，旋转工件台分别与电信号测试电路、运算控制器相连接，电信号测试电路与运算控制器相连接；所述旋转工件台上设有温度传感器...
李勇滔夏洋孙小孟
文献传递
可实现快速阻抗匹配的射频电源系统
本发明公开了一种可实现快速阻抗匹配的射频电源系统，包括射频功率发生器和阻抗匹配器，射频功率发生器输出的射频功率信号的频率根据阻抗匹配器获取的检测值来变化；阻抗匹配器包括检测器、控制器和执行机构；执行机构包括固定阻抗元件、...
李勇滔孙小孟李英杰夏洋王文东
可实现快速阻抗匹配的射频电源系统
本发明公开了一种可实现快速阻抗匹配的射频电源系统，包括射频功率发生器和阻抗匹配器，射频功率发生器输出的射频功率信号的频率根据阻抗匹配器获取的检测值来变化；阻抗匹配器包括检测器、控制器和执行机构；执行机构包括固定阻抗元件、...
李勇滔孙小孟李英杰夏洋王文东
文献传递
一种射频阻抗匹配器
本发明公开了一种射频阻抗匹配器，属于半导体制造技术领域。所述射频阻抗匹配器通过传输线连接在射频电源与等离子体腔室之间，射频阻抗匹配器包括：信号检测模块，用于检测射频电源的入射功率和传输线的反射功率，并输出检测结果；控制模...
孙小孟李勇滔赵章琰李英杰秦威夏洋
文献传递
一种恒温电容式压力传感装置
本申请公开了一种恒温电容式压力传感装置，涉及传感器技术领域。该装置包括：传感组件，所述传感组件包括外壳、第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极设置在所述外壳内；第一加热膜，所述第一加热膜设置在所述外壳的内壁上；第二加...
郑旭张心强孙小孟苏涛徐亚辉林琳郜晨希刘瑞琪张沙李超波
压电式绝压真空计
本发明提供了一种压电式绝压真空计，属于传感器技术领域，用于解决真空计加工成本高、制备难度大、测试量程窄的问题。本发明的压电式绝压真空计，包括：壳体、压电陶瓷片、第一电极和第二电极、压片组件和真空室连接管。壳体内具有空腔。...
张心强徐亚辉李超波孙小孟郜晨希张沙苏涛林琳刘瑞琪郑旭
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