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李勇军

作品数:17 被引量:105H指数:4
供职机构:北京有色金属研究总院更多>>
发文基金:国家科技重大专项北京市科技新星计划更多>>
相关领域:金属学及工艺一般工业技术电子电信冶金工程更多>>

文献类型

  • 10篇期刊文章
  • 5篇会议论文
  • 2篇专利

领域

  • 7篇金属学及工艺
  • 4篇一般工业技术
  • 3篇电子电信
  • 2篇冶金工程

主题

  • 7篇合金
  • 6篇溅射
  • 6篇溅射靶材
  • 6篇靶材
  • 4篇微波炉
  • 3篇半导体
  • 2篇电路
  • 2篇电路制造
  • 2篇盐酸
  • 2篇再结晶
  • 2篇锑合金
  • 2篇镍铬
  • 2篇镍铬合金
  • 2篇硝酸
  • 2篇挥发损失
  • 2篇集成电路
  • 2篇集成电路制造
  • 2篇铬合金
  • 2篇高纯
  • 2篇

机构

  • 17篇北京有色金属...

作者

  • 17篇李勇军
  • 5篇杨永刚
  • 4篇何金江
  • 4篇杨萍
  • 3篇尚再艳
  • 3篇熊晓东
  • 2篇王永兰
  • 2篇张兴维
  • 2篇闫琳
  • 2篇宋永胜
  • 2篇江轩
  • 2篇闫俊联
  • 2篇周岭
  • 2篇欧阳莉莉
  • 2篇张宝珍
  • 2篇万小勇
  • 2篇陈云红
  • 1篇沈群
  • 1篇范亮
  • 1篇丁照崇

传媒

  • 4篇稀有金属
  • 2篇第三届全国贵...
  • 1篇稀有金属材料...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇理化检验(物...
  • 1篇热加工工艺
  • 1篇中国有色金属...
  • 1篇中国粉体技术
  • 1篇第五届先进材...
  • 1篇中国有色金属...
  • 1篇中国有色金属...

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2014
  • 1篇2013
  • 4篇2005
  • 1篇2002
  • 1篇2001
  • 2篇2000
  • 2篇1998
  • 2篇1996
  • 1篇1994
17 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
钴再结晶退火的研究被引量:3
2013年
在较大热轧变形量的情况下,研究了工业纯钴在两种不同退火冷却方式下,不同退火温度的金相组织和硬度,同时对样品进行了XRD分析。结果发现,冷却方式对显微硬度有异常影响,确定了工业纯钴的再结晶温度,也对空冷情况下显微硬度异常变化的原因进行了分析。
范亮尚再艳黄志勇李勇军何金江
关键词:退火工艺再结晶温度显微硬度
超高纯CuMn合金材料微观组织和织构演变研究被引量:6
2017年
当前超大规模集成电路(ULSI)的特征尺寸已经步入纳米范围,随着特征尺寸的减小,铜互连面临着严重的可靠性问题,采用合金化手段可有效抑制晶界附近的电迁移。因而本文主要研究超高纯铜锰合金材料,通过金相(OM)、电子背散射衍射(EBSD)等分析手段研究超高纯铜锰合金材料塑性形变过程和热处理过程中铜锰合金试样的微观组织变化和轧制、再结晶织构变化。实验结果表明:经过对塑性变形试样的分析后发现,试样微观组织主要由许多破碎的小晶粒及亚晶组成,同时试样中存在典型的轧制织构并且存在大量的小角度晶界。经过退火热处理后,试样的微观组织比较均匀,晶粒细小,晶粒尺寸大约为10.7μm;典型轧制织构组分下降比较明显,典型再结晶织构组分上升,但大部分晶粒处于随机取向,试样退火热处理后几乎全部为大角度晶界。
关冲何金江曾浩万小勇李勇军
关键词:溅射靶材织构
金锗合金的溶样方法
本发明涉及金锗合金试样的溶样方法。将待溶解的样品,置于密闭的溶样器中,加入盐酸和硝酸的混合酸溶液,置于微波炉中,在微波炉内进行溶解适宜时间,冷却,而完成金锗合金的溶样。本溶样方法快速、简便,锗在溶样过程中不挥发损失,而又...
杨萍宋永胜陈云红李勇军
文献传递
微波炉溶样N_2O-AAS法测定金锗和金锗锑合金中的锗
1998年
采用微波炉密闭溶解金锗、金锗锑合金试样后,经冰柜快速冷却,用N2O-AAS法测定其中的锗。试样的分析结果表明本方法具有良好的精密度和回收率。
杨萍李勇军周岭
关键词:微波炉
PtW超细丝的制备工艺及显微结构研究被引量:2
2005年
通过配制PtW中间合金的方法确保了成分的均匀性,通过合理的热锻及冷加工工艺,并配以中间热处理,成功制备出Φ10μm及Φ8μm的PtW超细丝材,且单根超细丝的长度可达到45m以上。显微结构分析表明:PtW合金在铸态时为典型的包晶组织,初生相呈枝晶,热加工后晶粒被破碎,中间热处理后显微组织为细小、均匀的等轴晶。通过实验研究,PtW8.5为合金最佳成分。
闫琳李勇军欧阳莉莉闫俊联杨永刚
关键词:中间合金
银粉的用途和制备被引量:36
2001年
综述了银粉用途和制备方法与国内外研究现状 。
何发泉李勇军
关键词:银粉电子工业物理方法化学方法
NiCr_(40)合金再结晶的研究被引量:2
1996年
NiCr_(40)合金再结晶的研究张兴维,李勇军,王永兰,张宝珍,丁瑞鑫(北京有色金属研究总院100088)关键词:NiCr_(40),再结晶组织NiCr40合金是制备集成电路网络电阻薄膜用溅射靶材。从相图[1]上看出NiCr40合金大约在950℃以下...
张兴维李勇军王永兰张宝珍丁瑞鑫
关键词:再结晶镍铬合金
PtW超细丝的制备工艺及显微结构研究
本文通过配制PtW中间合金的方法确保了成分的均匀性,通过合理的热锻及冷加工工艺,并配以中间热处理,成功制备出Φ10μm及Φ8μm的PtW超细丝材,且单根超细丝的长度可达到45m以上.显微结构分析表明:PtW合金在铸态时为...
闫琳李勇军欧阳莉莉闫俊联杨永刚
文献传递
集成电路制造用溅射靶材
本文对用于集成电路制造的溅射靶材的材质类型、纯度要求、外形发展进行了阐述,并讨论了溅射靶材微观组织对溅射薄膜性质的影响,以及靶材中夹杂物、晶粒尺寸、晶粒取向的控制方法.
尚再艳江轩李勇军杨永刚
关键词:集成电路溅射靶材半导体材料
文献传递
微波炉溶样N<,2>O-AAS法测定金锗和金锗锑合金中的锗
微波炉密闭溶解金锗、金锗锑合金试样后,经冰柜快速冷却,用N&lt;,2&gt;O-AAS法测定其中的锗。试样的分析结果表明该方法具有良好的精密度和回收率。
杨萍李勇军周岭
关键词:微波炉
共2页<12>
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