柯学
- 作品数：4 被引量：1H指数：1
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：化学工程金属学及工艺更多>>
- 一种薄膜式仿生微流控液体驱动泵
- 一种薄膜式仿生微流控液体驱动泵是由气孔膜、连接膜和透水膜组成。连接膜利用压敏胶将气孔膜和透水膜连接在一起，并将微泵贴附在微流控芯片储液池上。气孔膜上的微孔阵列模拟植物叶片上的气孔制作。储液池中的液体通过透水膜进入微泵，再...
- 刘冲李经民徐征张开平柯学
- 文献传递
- 一种热塑性聚合物纳米通道的制作方法
- 本发明公开了一种热塑性聚合物纳米通道的制作方法，本发明属于纳米制造技术领域。其特征是。该方法是在一定的温度和压力下，对带有微通道的热塑性聚合物基片进行压缩，利用热塑性聚合物材料的形变填充行为，将微通道缩小为纳通道。该方法...
- 刘冲李经民柯学段亚杰范燕李萌
- 文献传递
- 模具铸层平整性及多样截面微结构制作方法
- 微电铸技术是MEMS领域中的一种重要的微加工方法。微电铸技术在制作具有微细结构的金属模具或器件方面具有突出优势,广泛应用于电子信息、生化检测、光学工程和国防工业等领域。然而,目前基于微电铸的金属微模具制作技术仍存在很多亟...
- 柯学
- 关键词：微电铸
- 文献传递
- 低变形镍模具微电铸加工的工艺优化(英文)被引量：1
- 2013年
- 微电铸工艺提供了一种有效的技术手段来制造金属模具,这种金属模具可被用于微图形的复制.模具的微电铸加工存在一个瓶颈问题:模具表面的不平整.金属模具的弯曲是造成模具表面不平整的主要原因之一.金属模具的弯曲变形会对微结构的复制精度产生影响.为了获得低变形镍模具,对微电铸工艺参数进行了优化.优化后的微电铸液中含有的镍离子质量浓度为80～90 g/L,硼酸的质量浓度为40～45 g/L,并且加入了0.3%L-1的润湿剂,其pH值控制在3.7～4.2之间.微电铸液的温度保持在50～55℃.在微电铸过程中,采用了电流密度为2～3A/dm2的脉冲电流,占空比为0.2.结果表明:采用优化后的工艺参数,可以获得低变形的镍模具,其变形量下降了19%.利用优化后的微电铸工艺,加工了一种可以用于热压工艺的镍模具,模具上的图形线宽为5μm,深度为5μm.
- 刘冲柯学李经民段亚杰
- 关键词：微电铸
