侯安州
- 作品数:8 被引量:15H指数:3
- 供职机构:上海交通大学更多>>
- 发文基金:上海市科委纳米专项基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器研究被引量:3
- 2009年
- 制作了一种新型的基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器。采用了溶胶-凝胶法在石英晶体表面制备了纳米晶PZT薄膜,形成PZrr/石英结构的敏感单元。研究了纳米晶PZT在石英基体上的微观结构、表面形貌;探讨了纳米晶PZT/石英作为敏感单元在细胞检测中的作用。实验结果表明:PZT薄膜的晶粒大小为20-30nm,沿〈101)晶向择优生长,并且,薄膜表面平整,结构致密。纳米晶PZT/石英结构的敏感单元使生物细胞传感器的灵敏度得到了提高。
- 侯安州惠春徐爱兰张艳丽倪鹤南
- 关键词:纳米晶压电陶瓷生物传感器
- 纳米晶PZT薄膜体声波谐振器的研究被引量:3
- 2009年
- 采用改进的溶胶-凝胶(Sol—Gel)法,在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜,并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器。用Ⅺ射线衍射、电镜扫描及原子力显微镜测试表明,PZT薄膜具有(110)择优取向,良好的短柱状自行晶结构及平滑的表面,晶粒平均尺寸为50~60nm。介电性能测试结果表明,介电常数保持约800,损耗角为0.02。用网络分析仪测试体声波谐振器得到较好的频率特性,即串、并联谐振频率分别为2.91GHz和3.01GHz,机电耦合系数为8.18%。在敏感元电极上加载1μL浓度为0.2μg/pL的磁性微球溶液,谐振频率降低了0.09GHz。
- 倪鹤南侯安州李敏徐爱兰惠春
- 关键词:薄膜体声波谐振器
- 基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究被引量:9
- 2007年
- 基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等。该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势。
- 吴义伯侯安州倪鹤南徐爱兰惠春任秋实
- 关键词:聚对二甲苯微加工工艺
- 催化燃烧式传感器敏感体自组装成型制造方法
- 本发明涉及一种催化燃烧式传感器敏感体自组装成型制造方法,将预先焊接在元件架上的支撑骨架铂丝线圈,浸没在配制好的载体浆料中,在真空负压条件下,利用扩散原理与液体的表面张力作用自组装形成规则均匀的椭球状白元件。经酸化处理形成...
- 惠春高顺华徐爱兰侯安州吴义伯
- 文献传递
- 基于纳米晶PZT//压电石英的压电生物传感研究
- 压电陶瓷PZT具有压电系数高,而压电石英晶体具有频率稳定性高,抗外界干扰能力,以及动态响应特性好的优势,若能使二者有机结合,将有助于提高传统的以石英晶体作为敏感单元的压电生物质量传感器的谐振频率,从而提高灵敏度。为此,本...
- 侯安州
- 关键词:压电PZT石英生物传感器
- 文献传递
- 纳米晶锆钛酸铅-石英复合结构压电传感材料的制备方法
- 本发明涉及一种纳米晶锆钛酸铅-石英复合结构压电传感材料的制备方法,首先制备锆钛酸铅PZT前驱体溶胶,通过减压蒸馏后得到PZT干凝胶,再将干凝胶溶解在乙二醇甲醚中,并加入丙三醇和冰醋酸的混合溶液作为干燥控制化学试剂,制成P...
- 惠春徐爱兰侯安州倪鹤南
- 文献传递
- 基于纳米晶PZT压电石英的压电生物传感器研究
- 侯安州
- 关键词:压电生物传感器
- 催化燃烧式传感器敏感体自组装成型制造方法
- 本发明涉及一种催化燃烧式传感器敏感体自组装成型制造方法,将预先焊接在元件架上的支撑骨架铂丝线圈,浸没在配制好的载体浆料中,在真空负压条件下,利用扩散原理与液体的表面张力作用自组装形成规则均匀的椭球状白元件。经酸化处理形成...
- 惠春高顺华徐爱兰侯安州吴义伯
- 文献传递