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王星星

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：南昌航空大学测试与光电工程学院无损检测技术教育部重点实验室更多>>
发文基金：无损检测技术教育部重点实验室开放基金江西省科技支撑计划项目江西省自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇理学

主题

  • 2篇三维形貌
  • 2篇光学
  • 2篇光学器件
  • 2篇二元光学
  • 2篇二元光学器件
  • 1篇误差分析
  • 1篇芯模
  • 1篇加工误差分析
  • 1篇表面形貌
  • 1篇差分

机构

  • 3篇南昌航空大学

作者

  • 3篇王星星
  • 2篇邹文栋
  • 2篇江茂清
  • 1篇龚勇清
  • 1篇刘佳

传媒

  • 1篇光学精密工程
  • 1篇科技风

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2011
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
二元光学器件表面表征方法研究
2011年
二元光学器件是一种表面微细结构组成的衍射光学元件,其制作工程中存在的加工误差主要有系统刻蚀误差、对准误差、随机台阶刻蚀深度误差、随机台阶刻蚀宽度误差等。其表面结构的形状及其偏差对其使用性能将产生严重的影响。探索出有效的二元光学器件表面表征方法是保证其制作工艺及系统有良好性能的前提和主要手段。本文介绍了一种幅度参数表征法,并给出了参数表征法中各参数的数学模型。
王星星邹文栋江茂清
关键词：二元光学器件
基于扫描白光干涉法的二元光学器件表面误差分析
随着二元光学器件/(Binary Optical Element/)在诸如空间技术、超精密加工、微光机电系统、计算机技术、信息处理、光纤通信、生物医学、国防军事等众多领域广泛应用，BOE表面质量检测以及加工工艺过程中控制...
王星星
关键词：二元光学器件三维形貌
文献传递
菲涅耳微透镜芯模表面形貌的检测及加工误差分析被引量：1
2013年
采用扫描白光干涉法对菲涅耳微透镜芯模表面浮雕结构进行了检测,并对元件表面微观形貌进行了三维重建。根据其表面形貌数据,引入幅度参数表征法,分别计算出横向线宽误差以及样品的系统刻蚀深度误差和随机刻蚀深度误差等纵向加工偏差。通过表面高度分布的偏斜度、表面高度分布的峭度等参数获得了有关微芯模表面误差和缺陷的量化信息。实验研究表明,扫描白光干涉法能精确定量化表征微芯模表面形貌特征,这对探索适用于新型微光学器件表面三维形貌误差的无损检测评价方法具有实际意义。
邹文栋刘佳王星星江茂清龚勇清
关键词：芯模三维形貌
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