赵晓霞
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：华东理工大学更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金上海市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 面向精化的表面微加工MEMS几何和工艺建模研究
- 随着微机电系统(Micro Electronic Mechanical System, MEMS)的发展,MEMS器件结构日益复杂,通常需要多次设计精化才能达到性能最优。精化设计过程中,对MEMS器件的工艺掩模或几何模型...
- 赵晓霞
- 关键词：计算机辅助设计微机电系统模型精化
- 文献传递
- 面向掩模精化的表面微加工MEMS器件几何建模
- 2011年
- MEMS器件设计流程中,为优化MEMS器件,常常需要对MEMS掩模进行精化设计。为了在MEMS精化设计中同步更新MEMS掩模与几何模型,提出一种面向掩模精化的表面微加工MEMS器件几何建模方法。该方法主要通过建立MEMS器件几何模型和工艺模型之间的依赖关系图,通过变动依赖关系,求出掩模精化所影响的几何元素,而后在几何模型中仅仅更新所影响的几何元素;对于所对应的几何模型存在拓扑突变等情况,该方法采用参数限定或局部几何模拟进行更新。实例分析表明,提出的几何建模方法能快速有效地响应掩模精化,从而有效地促进MEMS器件设计。
- 赵晓霞李建华凌浩刘玉生郭卫斌何高奇
- 关键词：计算机辅助设计微机电系统
