杜波
- 作品数：56 被引量：50H指数：4
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金国防基础科研计划更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程理学更多>>
- 微声薄膜耦合谐振滤波器有限元建模与仿真被引量：3
- 2012年
- 针对一维等效电路仿真模型不能对滤波器振动模式进行仿真的局限性,建立了微声薄膜耦合谐振滤波器二维和三维的有限元模型,仿真分析了滤波器在对称谐振频率和反对称谐振频率下的振动模式,并通过频率响应分析得到了滤波器的S参数。仿真结果表明,采用有限元分析法可实现微声薄膜耦合谐振滤波器几何参数以及电极结构的优化设计。
- 杜波马晋毅江洪敏杨靖徐阳
- 关键词：有限元
- 自动化SAW无线高度表激励源的研制
- 2012年
- 以声表面波(SAW)延迟线为核心技术,研制出大带宽、小带内波动和长延时的延迟线;通过优化延迟线连接方式和对嵌入式系统及通信系统的研究,研制出1m步进,1～8 000m连续可调,200MHz带宽(3dB)的C波段高度表激励源。该系统具有小型化,多功能性,通用性和自动化测试的特点。
- 杨靖方鑫唐盘良王露蒋世义周平李伟杜波
- 关键词：声表面波延迟线嵌入式模拟器
- 一种压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜及其制备方法
- 本发明提供一种压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜及其制备方法，该压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜包括底电极以及位于底电极上的压电薄膜，底电极采用WSi材料制成，压电薄膜采用AlN材料制成。本发明通过采用WSi材料制成底电极...
- 欧黎徐阳江洪敏司美菊姜华男张永川马晋毅龙飞杜波蒋欣金成飞田本朗
- 文献传递
- 一种新型SAW气体传感器的设计被引量：3
- 2015年
- 提出了将纳米线技术与声表面波(SAW)技术相结合,分别利用纳米线气体敏感材料比表面积高,声表面波传感器质量敏感性高的优点,探索研制新一代声表面波气体传感器。该传感器具有响应速度快,灵敏度高,体积小,质量注和易集成等优点。该文主要从SAW专用芯片的研制、专用纳米线研制、专用纳米线的表面修饰与改性研究、检测电路设计等4方面进行了阐述。理论计算表明,相比传统二维结构的SAW气体传感器,三维纳米线结构的SAW气体传感器的在灵敏度和响应速度上都得到提高。
- 王露王登攀杜波鄢秋娟张静雯唐永亮杨靖江洪敏
- 关键词：声表面波纳米线气体传感器比表面积灵敏度
- 一种具有高功率承受力的声表面波滤波器
- 本发明公开了一种具有高功率承受力的声表面波滤波器，它包括若干声表面波谐振器，每个声表面波谐振器包括叉指换能器以及反射栅，至少部分声表面波谐振器为高阻抗声表面波谐振器，高阻抗声表面波谐振器的叉指换能器为并排设置的两个，两叉...
- 杜波陈彦光傅金桥马晋毅蒋欣蒋世义
- 文献传递
- 薄膜体声波谐振器调频工艺研究被引量：5
- 2018年
- 薄膜体声波器件具有体积小及性能高等优势,相关产品已被广泛应用于移动通信市场。薄膜体声波谐振器(FBAR)电极层和压电层等声学层的厚度、材料是影响谐振频率的主要因素。该文分析了FBAR调频的必要性、原理及扫描刻蚀的工作方式,研究了调频层薄膜在不同刻蚀功率时对器件频率的影响。通过对FBAR器件进行调频,频率均匀性提高了6.5倍,频率分散性得到显著改善。
- 彭兴文徐阳杜波张永川司美菊刘娅何西良卢丹丹
- 关键词：薄膜体声波谐振器调频离子束
- 低温下磁控溅射AlN薄膜择优取向研究被引量：2
- 2013年
- 研究了衬底温度从-20～20℃下射频磁控溅射AlN薄膜的择优取向程度。利用X线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和场发射电子显微镜(FESEM)对AlN薄膜的晶体结构、粗糙度及表面和断面形貌进行了分析。研究结果表明,当衬底温度低于0℃时,AlN薄膜中的(100)衍射峰消失,AlN薄膜以(002)面择优取向生长。当衬底温度降低时,AlN薄膜的晶粒大小和表面粗糙度减小。AlN薄膜在0℃下沉积具有最佳的择优取向程度和较低的表面粗糙度。
- 杨杰马晋毅杜波徐阳石玉
- 关键词：ALN薄膜衬底温度形貌
- 薄膜体声波滤波器的发展现状被引量：8
- 2017年
- 薄膜体声波谐振(FBAR)滤波器具有体积小,性能高,一致性及可制造性好等优势,相关产品已被广泛应用于移动通信市场。通过对FBAR技术的基本原理和器件结构,讨论了FBAR技术的现状及发展趋势,表明其未来向宽带化,高功率化,高温度稳定性及小型化等方向发展。
- 徐学良陆玉姣杨柳杜波蒋欣马晋毅
- 关键词：宽带化小型化
- 一种三维纳米结构声表面波气敏传感器
- 本发明涉及一种三维纳米结构声表面波气敏传感器，包括压电基底，置于该压电基底表面且相互平行的输入叉指电极IDT1和输出叉指电极IDT2以及敏感区，敏感区位于输入叉指电极IDT1和输出叉指电极IDT2之间，敏感区上具有三维纳...
- 王露杨靖马晋毅杜波江洪敏司美菊王登攀祖小涛李志杰唐永亮
- 文献传递
- 一种小型化微机械滤波器
- 本实用新型公开了一种小型化微机械滤波器。该滤波器基于微机械工艺制作，由上、下两层介质材料叠加而成；上介质层下表面有交指型金属电极层；下介质层上表面有接地键合焊环，焊环之间有采用刻蚀工艺制备的空腔；上、下介质层上均设有通孔...
- 杜波马晋毅江洪敏曹家强杨靖蒋欣
- 文献传递
