您的位置： 专家智库 > >

刘立拓

作品数：28 被引量：10H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 24篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 5篇电子电信
  • 5篇自动化与计算...
  • 4篇理学
  • 3篇机械工程
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 8篇激光
  • 6篇光谱
  • 4篇重复频率
  • 4篇相机
  • 4篇脉冲
  • 4篇极紫外
  • 3篇探测器
  • 3篇图像
  • 3篇污染
  • 3篇显微图像
  • 3篇像素
  • 3篇反射光
  • 3篇成像
  • 2篇底座
  • 2篇电路
  • 2篇叠层
  • 2篇叠层结构
  • 2篇掩模
  • 2篇衍射
  • 2篇衍射元件

机构

  • 28篇中国科学院微...
  • 1篇长春理工大学
  • 1篇合肥工业大学
  • 1篇北京航空航天...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 28篇刘立拓
  • 6篇王宇
  • 1篇路鑫超
  • 1篇张朝前
  • 1篇周维虎
  • 1篇陈鲁
  • 1篇张学一
  • 1篇杨乐

传媒

  • 1篇物理学报
  • 1篇光学学报
  • 1篇半导体光电
  • 1篇中国光学

年份

  • 2篇2024
  • 7篇2023
  • 6篇2022
  • 3篇2021
  • 8篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2016
共 28 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台和原子力显微镜系统
一种采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台，包括顶部输出平台、Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座，其中，所述Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座之间采用立体交叉的连接方式进行连接，使Y轴工作机构的中央固定基准孔能够直接固...
姜行健陈晓梅石俊凯李冠楠刘立拓高超周维虎
文献传递
基于过焦扫描成像的样品特征分析方法及其装置
本公开提供了一种基于过焦扫描成像的样品特征分析方法，包括：利用过焦扫描成像方法对待测样品进行处理，建立TSOM数据立方；对数据立方沿Z向光轴进行微分处理，获得Z向光轴微分数据立方；Z向光轴微分数据立方包括：负号微分数据和...
刘立拓宋晓娇王娜王盛阳周维虎
基于脉冲激光的过焦扫描光学显微成像装置及方法
本公开提供一种基于脉冲激光的过焦扫描光学显微成像装置，包括：脉冲激光照射单元，用于发出扩束脉冲激光；半透半反镜，用于反射所述扩束脉冲激光，形成反射扩束脉冲激光；聚焦透镜，用于聚焦所述反射扩束脉冲激光形成扫描光；所述扫描光...
石俊凯李冠楠姜行健陈晓梅高超刘立拓董登峰周维虎
基于光频梳的真空测量方法及装置
本发明提供了一种基于光频梳的真空测量方法及装置，属于真空测量技术领域。基于光频梳的真空测量方法，包括：采用PDH机制将光频梳的重复频率锁定到气室内FP腔的腔长上；将气室内的气体抽空使气室内为真空，获得真空时锁定的光频梳的...
石俊凯周维虎黎尧陈晓梅刘立拓吴晓斌王魁波王宇
文献传递
基于非相干光源和波带片成像的掩模缺陷检测方法及系统
一种基于非相干光源和波带片成像的掩模缺陷检测方法及系统，该检测系统包括光源，用于提供非相干极紫外光；滤光装置，用于缩小光源的带宽；聚焦装置，将通过滤光装置的光源聚焦到待检测掩模上；成像装置，用于将经过待检测掩模反射的光成...
刘立拓周维虎吴晓斌王宇陈晓梅石俊凯黎尧
微纳器件三维结构光学检测装置及方法
一种微纳器件三维结构光学检测装置，包括光源、光束整形模块、半透半反镜、聚焦透镜、平移台、探测器和计算机，其中，光源输出的激光经过所述光束整形模块完成整形扩束，扩束后的平行光束由半透半反镜反射，再由聚焦透镜聚焦，照射到待测...
石俊凯李冠楠陈晓梅黎尧刘立拓高超董登峰周维虎
定位装置及方法
本公开提供一种定位装置及方法，装置包括：采集模块(A)，用于产生照明光；调光模块(B)，用于对照明光进行分束，产生基准光和测量光；传感模块(C)，包括参考反射器(4)和测量反射器(5)，参考反射器(4)被配置成设于待测装...
霍树春石俊凯高超陈晓梅李冠楠姜行健刘立拓董登峰周维虎
基于光谱调制的自启动Mamyshev光纤振荡装置
本公开提供一种基于光谱调制的自启动Mamyshev光纤激光振荡器，包括：两光谱滤波器，两泵浦源，两波分复用器，两光纤增益展宽器，两输出耦合器，两光学隔离器，所述光纤增益展宽器，包括增益光纤和无源光纤所述自启动Mamysh...
石俊凯李冠楠姜行健陈晓梅高超刘立拓董登峰周维虎
硅片表面纳米颗粒剥离及其成分检测方法研究
2020年
硅片表面纳米级污染颗粒的检测与去除是集成电路制造(Integrated Circuit,IC)的关键环节.本文主要对纳秒级脉冲激光作用至硅片表面后纳米颗粒的动力学过程及颗粒成分在线检测方法进行了研究.搭建了双脉冲激光测量实验系统,并通过实验对300 nm Cu颗粒进行了双脉冲激光实验观测,通过分析表征颗粒运动轨迹的击穿光谱特征,从实验上观测到了清洗激光作用后颗粒沿垂直硅片表面向上的运动轨迹.在综合考虑空气碰撞阻力、颗粒重力的影响下,建立了激光清洗后颗粒的运动模型,并与实验相结合求解了运动模型参数,计算获得了清洗激光作用后颗粒的初始速度和激光作用时间内颗粒的平均加速度.本文为激光诱导晶圆表面纳米颗粒去吸附以及激光至纳米颗粒动力学过程研究提供了一种模型方法,也为集成电路污染源在线检测提供了一种重要方法.
刘立拓王春龙余晓娅石俊凯黎尧陈晓梅周维虎
关键词：激光诱导击穿光谱
一种透明样品亚表面标准缺陷数据库的创建方法及装置
本发明提供一种透明样品亚表面标准缺陷数据库的创建方法及装置，方法包括：根据预设的亚表面标准缺陷参数创建虚拟透明样品；利用仿真激光作用于虚拟透明样品的亚表面，获得虚拟透明样品亚表面标准缺陷对应的近场光场分布数据；根据近场光...
刘立拓王娜宋晓娇王盛阳石俊凯霍树春陈晓梅周维虎
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0