您的位置： 专家智库 > >

孙育斌

作品数：1 被引量：12H指数：1
供职机构：武汉工业大学更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇气相沉积
  • 1篇膜结构
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石薄膜
  • 1篇光谱
  • 1篇红外
  • 1篇红外分析
  • 1篇红外光
  • 1篇红外光谱

机构

  • 1篇武汉工业大学
  • 1篇华中理工大学

作者

  • 1篇程宇航
  • 1篇吴一平
  • 1篇乔学亮
  • 1篇孙育斌
  • 1篇谢长生

传媒

  • 1篇硅酸盐学报

年份

  • 1篇1998
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
类金刚石膜结构的红外分析被引量：12
1998年
采用直流－射频等离子化学气相沉积方法制备出类金刚石薄膜，用Ｆｏｕｒｉｅｒ透射谱和吸收谱对类金刚石膜的结构进行了研究．类金刚石膜中大部分碳原子以ｓｐ３组态存在．结合在膜中的氢原子与碳原子之间可形成ｓｐ３Ｃ—ＣＨ２，ｓｐ３Ｃ—ＣＨ３和ｓｐ２Ｃ—ＣＨ２基，其含量以ｓｐ３Ｃ—ＣＨ２基为主．增加Ａｒ气分压与提高极板负偏压对类金刚石膜结构产生的影响是相似的，增大极板负偏压或Ａｒ气的含量将减小类金刚石膜中ｓｐ３／ｓｐ２比值和Ｈ的含量以及ＣＨ２基的含量，同时增加薄膜的交联，减少聚合相的含量．
程宇航吴一平陈建国乔学亮谢长生孙育斌
关键词：类金刚石薄膜红外光谱气相沉积
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0