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王杨
作品数:
6
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供职机构:
中国地质大学(北京)
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
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合作作者
彭志坚
中国地质大学北京
王琪
中国地质大学北京
符秀丽
中国地质大学北京
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电阻率
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射频磁控
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溅射
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磁控
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溅射设备
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电学性能
1篇
氧化锌薄膜
1篇
氧化锌陶瓷
1篇
氧化镨
机构
6篇
中国地质大学...
作者
6篇
王杨
5篇
符秀丽
5篇
王琪
5篇
彭志坚
年份
1篇
2019
4篇
2017
1篇
2016
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6
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一种氧化锌-氧化铋薄膜压敏电阻器的制备方法
本发明涉及一种氧化锌‑氧化铋薄膜压敏电阻器的制备方法,属于电子信息材料制备及其应用技术领域。本发明利用射频磁控溅射方法,采用非化学计量比的烧结ZnO<Sub>n</Sub>(n<1)为基质靶材,其他金属或其氧化物为...
王杨
彭志坚
王琪
符秀丽
高性能氧化锌基薄膜压敏电阻的研制
随着电子技术的迅速发展,电子器件不断向小型化、低压化发展,而传统的陶瓷制备法受到技术局限难于小型化、低压化,开发薄膜压敏电阻势在必行。但是,目前薄膜压敏电阻的非线性通常较差,为解决这个难题,本文用射频磁控溅射方法,对缺氧...
王杨
关键词:
射频磁控溅射
热浸
电学性能
文献传递
一种氧化锡基薄膜压敏电阻器的制备方法
本发明涉及一种氧化锡基薄膜压敏电阻器的制备方法,属于电子信息材料制备及其应用技术领域。本发明技术首先在射频磁控溅射设备中,以烧结氧化锡陶瓷为基质靶材,其他金属或其氧化物为掺杂靶材,在优化的溅射工艺下,在导电衬底上沉积得到...
彭志坚
王琪
王杨
符秀丽
一种氧化锌‑氧化镨薄膜压敏电阻器的制备方法
本发明涉及一种氧化锌‑氧化镨薄膜压敏电阻器的制备方法,属于电子信息材料制备及其应用技术领域。本发明利用射频磁控溅射方法,以烧结氧化锌陶瓷或复合氧化锌陶瓷为基质靶材,其他金属或其氧化物为掺杂靶材,在优化的溅射工艺下,在导电...
彭志坚
王杨
王琪
符秀丽
文献传递
一种氧化锡基薄膜压敏电阻器的制备方法
本发明涉及一种氧化锡基薄膜压敏电阻器的制备方法,属于电子信息材料制备及其应用技术领域。本发明技术首先在射频磁控溅射设备中,以烧结氧化锡陶瓷为基质靶材,其他金属或其氧化物为掺杂靶材,在优化的溅射工艺下,在导电衬底上沉积得到...
彭志坚
王琪
王杨
符秀丽
文献传递
一种氧化锌‑氧化铋薄膜压敏电阻器的制备方法
本发明涉及一种氧化锌‑氧化铋薄膜压敏电阻器的制备方法,属于电子信息材料制备及其应用技术领域。本发明利用射频磁控溅射方法,采用非化学计量比的烧结ZnO<Sub>n</Sub>(n<1)为基质靶材,其他金属或其氧化物为...
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彭志坚
王琪
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