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杨海艳

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

主题

  • 3篇湿法腐蚀
  • 2篇氮化铝
  • 2篇氮化铝陶瓷
  • 2篇陶瓷基片
  • 2篇基片
  • 2篇高温腐蚀
  • 2篇SUB
  • 2篇BOE
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化铝陶瓷基...
  • 1篇度条件
  • 1篇致密
  • 1篇致密度
  • 1篇溶剂
  • 1篇酸性
  • 1篇酸性溶液
  • 1篇陶瓷
  • 1篇陶瓷基
  • 1篇特殊设计
  • 1篇图形衬底

机构

  • 5篇北京大学

作者

  • 5篇孙永健
  • 5篇杨海艳
  • 2篇郭坚

年份

  • 2篇2016
  • 3篇2015
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种稳定使用BOE腐蚀SiO<sub>2</sub>的缸体
一种稳定使用BOE腐蚀SiO<Sub>2</Sub>的缸体设计，所述缸体设计中湿法腐蚀区主要包括缸体部分和图形掩膜制备用特制腐蚀支架；其中缸体部分包括：高、低温酸性溶液腐蚀槽；BOE腐蚀槽；去离子水清洗槽；所述BOE腐蚀...
孙永健杨海艳
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一种用于制备图形衬底的一体化湿法腐蚀设备
一种用于制备图形衬底的一体化湿法腐蚀设备，该设备包括：控制单元；图形衬底制备单元，图形衬底制备单元主要分为：高、低温酸腐模组，图形掩膜制备模组和清洗模组。本发明引入了进行了特殊设计的BOE腐蚀槽，首先从功能上实现了图形掩...
孙永健杨海艳
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一种稳定使用BOE腐蚀SiO<Sub>2</Sub>的缸体设计
一种稳定使用BOE腐蚀SiO<Sub>2</Sub>的缸体设计，所述缸体设计中湿法腐蚀区主要包括缸体部分和图形掩膜制备用特制腐蚀支架；其中缸体部分包括：高、低温酸性溶液腐蚀槽；BOE腐蚀槽；去离子水清洗槽；所述BOE腐蚀...
孙永健杨海艳
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一种凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法
一种凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法，以凝胶流延成型技术结合注凝成型和流延成型的优点，以醇类为溶剂，然后加入少量有机单体、交联剂、分散剂和增塑剂，球磨混合得到固含量高、粘度低和流动性好的浆料，再加入引发剂和催化剂，进行流...
孙永健郭坚杨海艳
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一种无苯流延成型制备氮化铝陶瓷的方法
本发明公开了一种无苯流延成型制备氮化铝陶瓷的方法。本发明采用多种醇类溶剂配置成混合溶剂，将混合溶剂、分散剂、AlN陶瓷粉末和烧结助剂混合进行初次球磨；然后加入增塑剂和粘结剂进行二次球磨；对二次球磨后的AlN浆料进行真空搅...
孙永健郭坚杨海艳
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