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袁广才
作品数:
5
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供职机构:
华南理工大学
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合作作者
闫梁臣
京东方科技集团股份有限公司
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作者
5篇
闫梁臣
5篇
袁广才
年份
1篇
2018
4篇
2016
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薄膜晶体管及其制造方法
一种薄膜晶体管及其制造方法,薄膜晶体管制造方法包括:采用直流溅射法在基板上沉积金属薄膜层的步骤;将所述金属薄膜层中的金属完全氧化或者部分氧化形成金属氧化物薄膜层的步骤。薄膜晶体管具有紧密结合的栅极层和栅极绝缘层。本发明的...
闫梁臣
袁广才
徐晓光
王磊
彭俊彪
兰林锋
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薄膜晶体管、阵列基板及其制备方法以及显示装置
本发明公开了一种薄膜晶体管、阵列基板、显示装置及阵列基板的制备方法,以提高薄膜晶体管半导体层的抗酸性,并降低薄膜晶体管的制备成本。薄膜晶体管包括半导体层,所述半导体层包括掺入锡的氧化锆。在本发明的技术方案中,退火处理后的...
闫梁臣
袁广才
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薄膜晶体管及制备方法、阵列基板及制备方法、显示面板、显示装置
本发明的实施例提供一种薄膜晶体管及制备方法、阵列基板及制备方法、显示面板、显示装置,涉及显示技术领域,可采用溶液法制备高迁移率的金属氧化物薄膜晶体管。该薄膜晶体管的制备方法,包括在衬底上制备形成栅极、栅绝缘层、有源层、源...
闫梁臣
袁广才
徐晓光
王磊
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有源层、薄膜晶体管、阵列基板、显示装置及制备方法
本发明公开了一种有源层、薄膜晶体管、阵列基板、显示装置及制备方法,属于平板显示领域。该有源层的材料为氧化锆铟,氧化锆铟的化学式为Zr<Sub>x</Sub>In<Sub>100-x</Sub>O<Sub>y</Sub>,...
闫梁臣
袁广才
徐晓光
王磊
彭俊彪
兰林锋
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有源层、薄膜晶体管、阵列基板、显示装置及制备方法
本发明公开了一种有源层、薄膜晶体管、阵列基板、显示装置及制备方法,属于平板显示领域。该有源层的材料为氧化锆铟,氧化锆铟的化学式为Zr<Sub>x</Sub>In<Sub>100‑x</Sub>O<Sub>y</Sub>,...
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