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景蔚宣
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1
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供职机构:
太原理工大学
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合作作者
胡晓东
中机生产力促进中心
张苹
大连理工大学
丁红宇
天津大学
蒋庄德
中原工学院
刘伟
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刘伟
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景蔚宣
年份
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2010
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微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则
本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。
胡晓东
丁红宇
刘伟
张苹
景蔚宣
蒋庄德
刘冲
张文栋
赵则祥
关键词:
控制装置
信号处理
电路
通信设备
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