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戚海洋

作品数：19 被引量：0H指数：0
供职机构：天津大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 18篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 9篇声表面波
  • 9篇频散
  • 9篇频散曲线
  • 7篇粘附
  • 6篇无损检测
  • 5篇样片
  • 5篇可移动
  • 5篇激光
  • 4篇电传感器
  • 4篇压电传感
  • 4篇压电传感器
  • 4篇函数
  • 4篇感器
  • 4篇表面波
  • 4篇叉指换能器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇势函数
  • 3篇激光激发
  • 3篇关键参数

机构

  • 19篇天津大学

作者

  • 19篇戚海洋
  • 18篇肖夏

年份

  • 3篇2021
  • 2篇2020
  • 7篇2019
  • 2篇2018
  • 3篇2017
  • 2篇2016
共 19 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种声表面波无损检测系统
本发明涉及一种声表面波无损检测系统，用以测量测试样片的薄膜特性，包括波形发生器、多个声表面波叉指换能器、压电传感器和计算机。由多个声表面波叉指换能器构成可生成不同频率声表面波的声表面波叉指换能器组，一个声表面波叉指换能器...
肖夏戚海洋
文献传递
基于内聚力模型确定表征薄膜粘附性的复合参数的方法
本发明涉及一种基于内聚力模型确定表征薄膜粘附性的复合参数的方法，包括：利用界面之间的粘附力和界面相对位移的关系来表示薄膜和衬底间的粘附性，而界面之间的粘附力是随着材料界面的相对距离变化而变化的，建立指数型内聚力模型的势函...
肖夏戚海洋
一种声表面波无损检测系统
本发明涉及一种声表面波无损检测系统，用以测量测试样片的薄膜特性，包括波形发生器、多个声表面波叉指换能器、压电传感器和计算机。由多个声表面波叉指换能器构成可生成不同频率声表面波的声表面波叉指换能器组，一个声表面波叉指换能器...
肖夏戚海洋
文献传递
一种同时检测薄膜粘附特性及杨氏模量的无损表征方法
本发明涉及一种同时检测薄膜粘附特性及杨氏模量的无损表征方法，包括：通过激光激发待测样片的超声表面波试验，获得待测样片的实验频散曲线，得到不考虑粘附特性影响时的杨氏模量值，并将作为已知参量测量出样片的粘附特性。确定出杨氏模...
肖夏戚海洋
基于内聚力模型确定表征薄膜粘附性的复合参数的方法
本发明涉及一种基于内聚力模型确定表征薄膜粘附性的复合参数的方法，包括：利用界面之间的粘附力和界面相对位移的关系来表示薄膜和衬底间的粘附性，而界面之间的粘附力是随着材料界面的相对距离变化而变化的，建立指数型内聚力模型的势函...
肖夏戚海洋
文献传递
一种同时检测薄膜粘附特性及杨氏模量的无损表征方法
本发明涉及一种同时检测薄膜粘附特性及杨氏模量的无损表征方法，包括：通过激光激发待测样片的超声表面波试验，获得待测样片的实验频散曲线，得到不考虑粘附特性影响时的杨氏模量值，并将作为已知参量测量出样片的粘附特性。确定出杨氏模...
肖夏戚海洋
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采用可移动双探头压电传感器测量薄膜粘附性的方法
本发明涉及采用可移动双探头压电传感器测量薄膜粘附性的方法，由多个声表面波叉指换能器构成可生成不同频率声表面波的声表面波叉指换能器组，一个声表面波叉指换能器包括一个叉指电极，用以在待测样片上产生单频声表面波；压电传感器用以...
肖夏戚海洋
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基于SAW技术的互连薄膜机械及界面性能多参数表征研究
随着5G、汽车电子、AI、物联网等下游应用领域的进一步兴起，集成电路(IC)产业蓬勃发展，互连布线是集成电路发展中的一项焦点工作。低介电常数(low-k)互连薄膜的应用可缓解IC互连中出现的RC延迟、串扰增强、功耗增大等...
戚海洋
关键词：集成电路声表面波技术无损检测
用于采集声表面波信号的可移动双探头压电传感器
本发明涉及一种用于采集声表面波信号的可移动双探头压电传感器，包括金属外壳、前压电探头、后压电探头，在金属外壳的底部开设有两个平行的通孔，前压电探头和后压电探头的劈尖从平行通孔伸出，在金属外壳的顶部开设有与两个平行通孔相对...
肖夏戚海洋秦慧全
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采用可移动双探头压电传感器测量薄膜粘附性的方法
本发明涉及采用可移动双探头压电传感器测量薄膜粘附性的方法，由多个声表面波叉指换能器构成可生成不同频率声表面波的声表面波叉指换能器组，一个声表面波叉指换能器包括一个叉指电极，用以在待测样片上产生单频声表面波；压电传感器用以...
肖夏戚海洋
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