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万博
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上海理工大学
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高伟
上海理工大学
宫筱璐
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姜剑伟
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林晓禹
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彭悦娇
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高伟
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万博
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1篇
2011
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一种用于热气体线源均匀分布的装置
本实用新型涉及一种用于热气体线源均匀分布的装置,热气体首先经过金属网组合将气体在垂直平面内进行混合,保证气体均匀性的同时,再经过导流板使气体在装置中延长停留时间的过程中,导流板间设置分流导流板,进而使气体在线源长度上也进...
高伟
黄远东
杨舒天
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