刘积学
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
- 供职机构：清华大学更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
- 中高频声表面波关键材料与应用研究
- 2007年
- 随着第三代通讯技术的发展,声表面波(SAW)器件的使用频率不断提高,从最初的数MHz发展到现在的数GHz,如应用于1.9GHz的个人通讯服务系统,2.4GHz的无线局域网络系统及高于5GHz无线多端发送系统。这些高频应用系统的不断发展显著增大了高频声表面波器件的市场需求以及对相关材料与器件研究的兴趣。介绍近年来在中高频声表面波材料与应用方面所作的一些研究工作,主要进展有:(1)采用纳米级金属(Ti、Zr、Ni)过渡层,并通过适量添加Mo等微合金元素,研制出多种具有高抗电迁移和功率耐受性的叉指换能器材料,制备的滤波器频率达到2.4GHz;(2)成功解决Si、金刚石、ZnO、Al多层材料间声匹配问题,获得可用于高频声表面波器件制作的高品质材料,ZnO薄膜具有高度C轴取向(类单晶结构),制作得器件频率达3GHz。(3)将藕合模(COM)和镜像耦合理论成功应用于多层复合膜声表面波器件的设计,发展出具有自主知识产权的设计平台和相关软件;(4)针对高频声表亚200纳米密集叉指换能器和毫米级汇流条同时曝光的挑战,发展了一种新的分层分剂量进行临近效应修正电子束直写技术,制备出线宽达0.2μm的声表面波器件(中心频率为3～4GHz)。
- 潘峰刘明曾飞刘积学
- 关键词：ZNO薄膜多层复合膜
- 中高频声表面波关键材料与器件研究
- 潘峰刘积学刘明秦庭辉玄真武胡少勤曾飞胡爱民谢常青吴江渠林李冬梅陈菁菁刘尔凯高阳牛积斌蔡国儒曹亮王从舜陈运祥谭学斌何敬晖
- 本成果属新材料、电子、声学与信息科学交叉的学科领域。移动通讯产业具有巨大的市场需求和广阔的发展前景。声表面波（SAW）器件以其体积小、重量轻、频率选择性强、一致性好等特点，广泛应用于移动通信系统、电视广播以及各类军用雷达...
- 关键词：
- 关键词：声表面波器件
- 中高频声表面波关键材料及应用研究
- 潘峰刘明曾飞刘积学李冬梅秦廷辉
- 该成果原创性地提出铝/纳米金属过渡层/压电材料高频声表面波器件结构，发明了多种具有高抗电迁移和功率耐受性的叉指换能器材料，突破了声表面波材料与器件产业化关键技术，形成了自主知识产权的相关器件生产线。使中国声表面波滤波器频...
- 关键词：
- 关键词：声表面波滤波器声表面波器件
