侯生根
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
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- 退火制度对PZT铁电薄膜性能的影响
- 铁电薄膜的性质对于硅基MEMS器件有重要的影响,鉴于此本文尝试通过改善退火工艺以提高PZT薄膜的铁电和压电性质.采用溶胶凝胶法,在Si/SiO<,2>/Ti/Pt衬底上制备了PZT铁电薄膜.实验中,采用一次退火工艺和每层...
- 张宁欣侯生根任天令刘理天
- 关键词：溶胶凝胶铁电薄膜退火工艺
- 文献传递
- 退火制度对PZT铁电薄膜性能的影响被引量：2
- 2003年
- 铁电薄膜的性质对于硅基MEMS器件有重要的影响,鉴于此本文尝试通过改善退火工艺以提高PZT薄膜的铁电和压电性质。采用溶胶凝胶法,在Si/SiO_2/Ti/Pt衬底上制备了PZT铁电薄膜。实验中,采用一次退火工艺和每层退火工艺制备了两种PZT薄膜,采用XRD对薄膜的晶体结构进行分析,通过C—V和I—V特性的研究发现,每层退火工艺有助于提高PZT薄膜的C—V性质,并降低漏导电流。
- 张宁欣侯生根任天令刘理天
- 关键词：溶胶凝胶
- 退火制度对PZT铁电薄膜性能的影响
- 铁电薄膜的性质对于硅基MEMS器件有重要的影响,鉴于此本文尝试通过改善退火工艺以提高PZT薄膜的铁电和压电性质。采用溶胶凝胶法,在Si/SiO/Ti/Pt衬底上制备了PZT铁电薄膜。实验中,采用一次退火工艺和每层退火工艺...
- 张宁欣侯生根任天令刘理天
- 关键词：溶胶凝胶
- 文献传递
