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高海钰

作品数：17 被引量：2H指数：1
供职机构：东南大学更多>>
相关领域：电子电信文化科学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 16篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 10篇电极
  • 8篇谐振子
  • 7篇封装
  • 4篇键合
  • 4篇衬底
  • 3篇导航
  • 3篇圆片
  • 3篇陀螺
  • 3篇晶圆
  • 3篇晶圆片
  • 3篇惯性导航
  • 2篇弹性梁
  • 2篇电机
  • 2篇电机转子
  • 2篇电容间隙
  • 2篇叠放
  • 2篇压铸
  • 2篇压铸工艺
  • 2篇阳极键合
  • 2篇真空封装

机构

  • 17篇东南大学

作者

  • 17篇高海钰
  • 16篇夏敦柱
  • 4篇邓睿

年份

  • 2篇2020
  • 1篇2019
  • 4篇2018
  • 5篇2017
  • 4篇2016
  • 1篇2015
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法
本发明公开一种静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪，包括主单元结构、刻有信号引线的玻璃层和硅衬底，玻璃层包括依次上下叠放的上层玻璃基底和下层玻璃基底，硅衬底包括上层硅衬底和下层硅衬底，主单元结构设置于玻璃层的中心位置，包括球壳振...
夏敦柱高海钰邓睿胡异炜
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一种混合式半球谐振微陀螺仪及其加工工艺
本发明公开一种混合式半球谐振微陀螺仪，属于微机电和惯性导航领域，其由上而下依次设置的上层玻璃衬底、电极层、硅结构层和下层玻璃衬底；其中，在上层玻璃衬底、电极层和硅结构层的中心设有圆形腔体，半球壳谐振子设置在圆形腔体中；半...
夏敦柱高海钰
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三轴立体足球状微陀螺仪及其加工方法
本发明公开一种三轴立体足球状微陀螺仪及其加工方法，包括两层上下叠放的玻璃基底以及安装于两侧玻璃基底之间的主单元结构，主单元结构包括立体质量块、内弹性梁、外弹性梁、驱动结构和检测结构；立体质量块呈足球状位于主单元结构的中心...
夏敦柱高海钰邓睿胡异炜
基于PLC控制的电机转子压铸自动化模具库
本发明公开一种基于PLC控制的电机转子压铸自动化模具库，包括底层转动结构和安装于底层传动结构上的模具库主结构；所述模具库主结构包括中心转轴和若干层模具放置腔室，中心转轴固定于底层传动结构上表面的中心位置，所述模具放置腔室...
夏敦柱高海钰
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一种基于SOI封装的六轴微惯性器件及其加工方法
本发明公开了一种基于SOI封装的六轴微惯性器件，包括单片集成的六轴微惯性器件、玻璃衬底、金属电极、金属引线、SOI盖帽和SOI密封墙；六轴微惯性器件通过阳极键合工艺键合在玻璃衬底上；金属电极为一个以上，均匀设置在玻璃衬底...
夏敦柱黄泠潮高海钰
一种基于SOI封装的熔融石英微半球谐振陀螺仪及其加工方法
本发明公开一种基于SOI封装的熔融石英微半球谐振陀螺仪及其加工方法，基于SOI封装的熔融石英微半球谐振陀螺仪包括玻璃基底、SOI密封壳、熔融石英微半球壳谐振子、微半球壳支撑柱、基准电极、8个敏感电极、16六个激励电极、圆...
夏敦柱高海钰
一种组装式半球谐振微陀螺仪及其加工工艺
本发明公开一种组装式半球谐振微陀螺仪，属于微机电和惯性导航领域，上层玻璃衬底、外围锚点结构和下层玻璃衬底由上而下依次设置，在上层玻璃衬底的底面的中心设有圆形凹槽，外围锚点结构为中空的框型结构，圆形凹槽和外围锚点结构的中空...
夏敦柱高海钰
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一种基于SOI封装的微半球谐振陀螺仪及其加工方法
本发明公开一种基于SOI封装的微半球谐振陀螺仪及其加工方法，基于SOI封装的微半球谐振陀螺仪包括玻璃衬底、微半球壳谐振子、两个基准电压引线柱、电极、SOI密封墙、SOI晶硅圆片的上层、二氧化硅层、第一电极孔、第二电极孔、...
夏敦柱高海钰
一种基于SOI封装的六轴微惯性器件及其加工方法
本发明公开了一种基于SOI封装的六轴微惯性器件，包括单片集成的六轴微惯性器件、玻璃衬底、金属电极、金属引线、SOI盖帽和SOI密封墙；六轴微惯性器件通过阳极键合工艺键合在玻璃衬底上；金属电极为一个以上，均匀设置在玻璃衬底...
夏敦柱黄泠潮高海钰
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一种基于SOI封装的熔融石英微半球谐振陀螺仪及其加工方法
本发明公开一种基于SOI封装的熔融石英微半球谐振陀螺仪及其加工方法，基于SOI封装的熔融石英微半球谐振陀螺仪包括玻璃基底、SOI密封壳、熔融石英微半球壳谐振子、微半球壳支撑柱、基准电极、8个敏感电极、16六个激励电极、圆...
夏敦柱高海钰
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