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郝婷婷

作品数：8 被引量：6H指数：1
供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 5篇晶体管
  • 5篇场效应
  • 5篇场效应晶体管
  • 4篇电极接触
  • 4篇半导体
  • 4篇半导体场效应...
  • 3篇纳米
  • 2篇电极
  • 2篇栅结构
  • 2篇设计性
  • 2篇自支撑
  • 2篇漏极
  • 2篇接触孔
  • 2篇金属
  • 2篇金属电极
  • 2篇晶体
  • 2篇晶体管器件
  • 2篇场发射
  • 2篇衬底
  • 1篇定影

机构

  • 8篇中国科学院

作者

  • 8篇郝婷婷
  • 7篇李无瑕
  • 7篇李俊杰
  • 7篇顾长志
  • 1篇田士兵
  • 1篇金凌

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 2篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
紫外辐照增强纳米金刚石锥场发射特性
作为一种多功能纳米材料,纳米金刚石被广泛应用在电子学、光子学以及量子力学的研究中。此外,由于纳米金刚石晶界上存在大量的sp2杂化键,为电子输运提供了大量的通道,使得纳米金刚石具在冷阴极场发射的应用中具有巨大的优势。本文中...
郝婷婷李无瑕田士兵李俊杰顾长志
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一种具有液体全超憎功能的三维结构的制备方法
本发明提供了一种具有液体全超憎功能的三维结构的制备方法，涉及三维微纳米加工技术。所述方法的具体步骤如下：选取用于支撑所述三维结构的衬底；在所述衬底上敷涂光刻胶；使用激光直写设备对所述光刻胶的预先设计区域进行曝光，形成曝光...
李无瑕郝婷婷李俊杰顾长志
文献传递
一种三维环栅半导体场效应晶体管的制备方法
本发明提供了一种三维环栅半导体场效应晶体管的制备方法，属于三维微纳器件技术领域。该方法包括如下步骤：提供一基底，在基底处形成电绝缘层，在电绝缘层形成功能结构层；在电绝缘层处形成一有源区，在有源区处获得自支撑功能结构层；在...
顾长志郝婷婷李无瑕李俊杰
聚焦离子束/电子束技术在三维纳米器件加工中的应用
聚焦离子束/电子束(FIB/FEB)技术作为纳米结构与器件加工过程中实现沉积/刻蚀/辐照等功能的重要手段,其加工的结构与器件尺寸范围可从微米到亚微米甚至纳米级别,具有灵活、可控、精度高的特点和三维微纳米结构与器件加工的能...
郝婷婷
关键词：杨氏模量场发射
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一种制备三维环栅结构半导体场效应晶体管器件的方法
本发明提供了一种制备三维环栅结构半导体场效应晶体管器件的方法，通过以自支撑三维微纳米功能结构为载体，利用微纳加工技术以制备三维环栅结构半导体场效应晶体管器件，具体步骤如下：在所述自支撑三维微纳米功能结构表面制备第一电介质...
顾长志郝婷婷李无瑕李俊杰
一种可旋转夹具
本发明提供了一种可旋转夹具，涉及一种夹具。本发明的可旋转夹具，用于固定应用在制备三维功能纳米结构中的支撑衬底，包括支柱、旋转支撑结构和固定底座。支柱用于支撑所述夹具。旋转支撑结构包括第一部件和第二部件，第一部件的一端与支...
李无瑕金凌杨盛焱郝婷婷李俊杰顾长志
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一种制备三维环栅结构半导体场效应晶体管器件的方法
本发明提供了一种制备三维环栅结构半导体场效应晶体管器件的方法，通过以自支撑三维微纳米功能结构为载体，利用微纳加工技术以制备三维环栅结构半导体场效应晶体管器件，具体步骤如下：在所述自支撑三维微纳米功能结构表面制备第一电介质...
顾长志郝婷婷李无瑕李俊杰
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一种三维环栅半导体场效应晶体管的制备方法
本发明提供了一种三维环栅半导体场效应晶体管的制备方法，属于三维微纳器件技术领域。该方法包括如下步骤：提供一基底，在基底处形成电绝缘层，在电绝缘层形成功能结构层；在电绝缘层处形成一有源区，在有源区处获得自支撑功能结构层；在...
顾长志郝婷婷李无瑕李俊杰
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