李光磊
- 作品数：16 被引量：5H指数：2
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：天文地球电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 电化学微震检波器
- 本发明提供了一种电化学微震检波器，包括：惯性摆体，其内形成电解液空间，该电解液空间内充有电解液；敏感电极，固定于电解液空间的电解液中，用于采用电化学原理将震动信号转换为电信号；信号处理电路，其输入端电性连接至敏感电极，用...
- 王军波李光磊陈德勇陈健孙振源陈连宏
- 电化学地震检波器敏感电极及其制备方法
- 本发明提供了一种电化学地震检波器敏感电极，包括：一支撑基板，所述支撑基板的材料为有机绝缘体，支撑基板中设置有至少一个支撑基板通孔；以及两个电极层，分别覆盖于所述支撑基板的上表面和下表面，所述两个电极层中分别设置有至少一个...
- 陈德勇孙振源王军波陈健李光磊陈连宏
- 单片复合敏感电极的制造方法、基于其的敏感器件
- 本发明公开了单片复合敏感电极的制造方法，还公开了基于该单片复合敏感电极的电化学加速度计敏感核心。本发明单片复合敏感电极基于硅片进行制作，加工完成后该硅片具有阳极面和阴极面，所述阳极面设有阳极，所述阴极面设有阴极。电化学加...
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- 基于柔性微电极的高灵敏度MEMS电化学地震检波器被引量：2
- 2018年
- 为了进一步降低微机电系统(MEMS)电化学地震检波器敏感电极的加工成本,提升传感器的灵敏度,推动其在地球物理勘探等领域的发展,提出了一种基于柔性微电极结构的新型MEMS电化学地震检波器。与基于硅衬底制作敏感电极相比,敏感电极的制作方法可以通过有效减小电极间距,大幅度提升传感器的灵敏度,大幅降低工艺成本。介绍了柔性微电极的加工工艺流程,并对传感器的性能进行了测试。结果表明:提出的地震检波器较基于硅衬底微电极器件灵敏度提高了一个数量级。
- 孙振源李光磊李光磊陈健陈连宏王军波
- 关键词：微机电系统高灵敏度
- 基于COMSOL的电化学地震检波器频率特性数值仿真模型被引量：1
- 2019年
- 提出了一种可以精确求解电化学地震检波器传递函数的数值仿真模型,并首次采用流固耦合物理场来将外界振动与内部电解质溶液的运动形态联系在一起。通过规范的实验方法,对涉及到的部分仿真参数进行实际测试,使得仿真模型与实际情况更加吻合,仿真结果中的幅频响应曲线与实测结果相关度达到了0. 97。基于该模型,讨论了电极上小孔个数对设备幅频响应曲线的影响,通过优化小孔个数,最终在未施加反馈的情况下,将工作带宽扩展至0. 14～100 Hz。
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- 关键词：数值仿真频率特性微机电系统带宽
- 集成式复合敏感电极及其制造方法
- 一种集成式复合敏感电极及其制造方法，该复合敏感电极由四层复合电极堆叠构成，每层复合电极集成间隔层与电极层，电极层布满通孔并且与间隔层的孔径较大的孔相通形成电解液流动的通道；该复合敏感电极采用MEMS加工技术制造，不仅可以...
- 陈德勇邓涛王军波陈健张正宇孙振源李光磊
- 电化学微震检波器
- 本发明提供了一种电化学微震检波器，包括：惯性摆体，其内形成电解液空间，该电解液空间内充有电解液；敏感电极，固定于电解液空间的电解液中，用于采用电化学原理将震动信号转换为电信号；信号处理电路，其输入端电性连接至敏感电极，用...
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- 电化学地震检波器敏感电极及其制备方法
- 本发明提供了一种电化学地震检波器敏感电极，包括：一支撑基板，所述支撑基板的材料为有机绝缘体，支撑基板中设置有至少一个支撑基板通孔；以及两个电极层，分别覆盖于所述支撑基板的上表面和下表面，所述两个电极层中分别设置有至少一个...
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- 集成式复合敏感电极及其制造方法
- 一种集成式复合敏感电极及其制造方法，该复合敏感电极由四层复合电极堆叠构成，每层复合电极集成间隔层与电极层，电极层布满通孔并且与间隔层的孔径较大的孔相通形成电解液流动的通道；该复合敏感电极采用MEMS加工技术制造，不仅可以...
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- MEMS电化学地震检波器敏感电极芯片及其制造方法
- 本发明提供了一种MEMS电化学地震检波器敏感电极芯片及其制造方法，该电极芯片包括一个支撑基板、在该支撑基板的至少一个表面依次排列的N层电极层和位于相邻两个电极层之间的N?1层绝缘间隔层，M个电极层通孔(31)、M个绝缘间...
- 陈德勇孙振源王军波陈健邓涛李光磊
