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张增星

作品数：42 被引量：13H指数：2
供职机构：中北大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划山西省高等学校科技创新项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电气工程理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 36篇专利
  • 5篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 11篇自动化与计算...
  • 3篇电子电信
  • 3篇电气工程
  • 3篇理学
  • 2篇交通运输工程
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇文化科学

主题

  • 11篇电极
  • 8篇压电
  • 8篇传感
  • 7篇感器
  • 7篇传感器
  • 5篇电磁
  • 5篇电荷量
  • 5篇麦克风
  • 5篇ALN
  • 5篇MEMS
  • 4篇电磁阻尼
  • 4篇电机
  • 4篇水听器
  • 4篇煤机
  • 4篇发电机
  • 4篇采煤
  • 4篇采煤机
  • 4篇采煤机械
  • 4篇斥力
  • 4篇磁阻

机构

  • 42篇中北大学
  • 1篇西安理工大学
  • 1篇忻州师范学院

作者

  • 42篇张增星
  • 41篇薛晨阳
  • 14篇张志东
  • 12篇穆继亮
  • 12篇何剑
  • 12篇韩建强
  • 11篇丑修建
  • 10篇崔丹凤
  • 10篇臧俊斌
  • 9篇刘丹
  • 9篇高瑞
  • 8篇王大为
  • 7篇张文栋
  • 7篇王永华
  • 7篇温涛
  • 5篇赵龙
  • 5篇郑永秋
  • 5篇王二伟
  • 5篇王强
  • 3篇刘建伟

传媒

  • 1篇物理学报
  • 1篇无机材料学报
  • 1篇现代电子技术
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2025
  • 4篇2024
  • 4篇2023
  • 11篇2022
  • 4篇2021
  • 4篇2020
  • 3篇2019
  • 6篇2017
  • 5篇2016
共 42 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置
本申请涉及硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置，具体而言，涉及麦克风装置领域；本申请提供的硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构，结构包括：衬底、第一电极层、压电材料层和第二电极层；由于该第一电极层、压电材料层和第二...
臧俊斌崔丹凤薛晨阳张志东张增星李鹏璐范正
摩擦-压电-磁电复合式三维空间多自由度微能源采集器
本发明涉及对机械能的能量采集技术，具体为一种摩擦-压电-磁电复合式三维空间多自由度微能源采集器，由外至内依次包含电磁感应线圈、外球壳、缓冲层、压电层、摩擦层、内球壳和磁铁球。各线圈之间采用串联方式连接；外球壳与压电层之间...
何剑薛晨阳丑修建穆继亮韩建强张文栋王二伟张增星温涛胡磊
一种压阻式压力传感器
本申请涉及传感技术领域，具体提供了一种压阻式压力传感器，该压阻式压力传感器包括硅基层、金属引线。硅基层的一个侧面设置有凹陷结构，凹陷结构的底部形成硅膜片，硅膜片远离凹陷结构一侧的表面上设置有超浅掺杂区，金属引线固定设置于...
张志东薛晨阳高瑞张增星李波臧俊斌李越唐
一种高可靠性的海洋湍流传感器封装模块
本实用新型涉及海洋湍流探测领域，具体涉及一种高可靠性的海洋湍流传感器封装模块，包括壳体、螺纹连接于壳体前端的导流罩、扣于导流罩上的前端保护帽、安装在壳体和导流罩之间的湍流敏感结构、安装于壳体尾端的水密接插件、以及套设于水...
张增星刘丹薛晨阳张文君高瑞
文献传递
基于SOI的压电薄膜式水听器被引量：2
2020年
针对目前压阻式水听器在工作时需要外加电源、对温度敏感以及制造过程复杂的问题,提出了一种以AlN为压电材料的压电薄膜式水听器。该水听器由带有上下电极的压电薄膜以及绝缘体上硅(SOI)衬底组成。根据理论计算和有限元仿真分析对水听器的结构参数进行了优化以满足其对水下低频声信号的探测需求,并对所设计的水听器进行了微纳尺度下的一体化加工。对所制造的水听器进行了形貌测试,并用激光多普勒测振仪测试了水听器的谐振频率,实验测得的谐振频率为0.516 MHz,与理论计算值0.531 MHz非常接近,验证了理论分析的正确性,为压电水听器的研究与应用提供了一定的参考价值。
王强杨婷婷赵龙薛小斌臧俊斌张增星薛晨阳
关键词：ALN
一种基于阳极键合技术的MEMS压电水听器及制备方法
本发明公开了一种基于阳极键合技术的MEMS压电水听器及制备方法，解决了传统压电水听器量程小、灵敏度低、低抗干扰能力差的问题。本发明包括通过阳极键合技术形成有真空密闭空腔的基片以及有上下电极的压电层。单个工作区内的所有振动...
张志东薛晨阳郑永秋崔丹凤张增星王强赵龙杨婷婷
线圈悬浮型振动驱动电磁式能量采集器
本发明提供一种线圈悬浮型振动驱动电磁式能量采集器，包括顶盖、顶部弹簧、底部外壳、圆形永磁铁、平面螺旋线圈保护盖、平面螺旋线圈、线圈绕柱、斥力永磁铁、斥力永磁铁定位底盘、线圈悬浮腔。本发明依靠悬浮线圈中磁通量的改变完成振动...
穆继亮何剑张增星王大为韩建强丑修建薛晨阳张文栋
文献传递
基于五路心音信号分类算法的健康检测方法及系统
本申请涉及基于五路心音信号分类算法的健康检测方法及系统，具体涉及健康设备领域。本申请提供的基于五路心音信号分类算法的健康检测方法，方法包括：获取待测样本的五路心音信号；使用第一预设函数提取五路心音信号中的特征信息；将五路...
臧俊斌薛晨阳张志东张增星 向梦辉 周宸正
文献传递
硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置
本申请涉及硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置，具体而言，涉及麦克风装置领域；本申请提供的硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构，结构包括：衬底、第一电极层、压电材料层和第二电极层；由于该第一电极层、压电材料层和第二...
臧俊斌崔丹凤薛晨阳张志东张增星 李鹏璐 范正
文献传递
一种高灵敏度的AlN压电水听器及其制备方法
本发明公开了一种高灵敏度的基于AlN的压电水听器及其制备方法，该水听器针对常规压电水听器中存在的灵敏度低、机电耦合系数不高以及加工工艺较为繁琐的问题，提出一种新型结构的压电水听器。当如入射的声波使空腔变形时，在空腔的中央...
薛晨阳张志东郑永秋崔丹凤张增星王强赵龙杨婷婷
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