刘明霞
- 作品数：53 被引量：13H指数：2
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- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术理学环境科学与工程更多>>
- 直流磁控溅射制备Zr-B-O薄膜及其热稳定性
- 2021年
- 利用直流磁控溅射技术在Si(100)基底上制备了不同偏压的Zr-B-O和Cu/Zr-B-O薄膜体系,采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和透射电镜(TEM)等对薄膜样品的微观组织形貌和热稳定性进行表征分析。结果表明:不同偏压得到的Zr-B-O薄膜均为非晶结构,薄膜表面平整,膜厚均匀,膜基结合良好,薄膜方阻随偏压增加而减小;当退火温度低于750℃时,Cu膜表面完整连续,方阻较小,750℃退火后,由于Cu膜严重聚集并出现孔洞导致薄膜不连续而使电阻增加,但未发生Cu与Si的扩散,说明非晶Zr-B-O薄膜仍可以有效阻挡扩散。
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- 关键词：热稳定性
- 一种高耐磨防腐PVD涂层工艺
- 本发明公开了一种高耐磨防腐PVD涂层工艺，将钢件放置于PVD设备的真空室中；对真空室进行电子束加热；将硅、铼、钛、硼、钼、锰、钨、钴、镍元素材料对钢件进行镀膜；再将聚氯乙烯、聚异丁烯、石蜡﹑苯甲酸钠和山梨酸钾进行涂覆；冷...
- 余历军董忍娥孟瑜畅庚榕刘凌张秀萍刘明霞叶芳霞梁晓明吴神丽
- 文献传递
- 基底偏压对Zr-B-O-N薄膜结构及性能的影响
- 2022年
- 二硼化锆(ZrB_(2))薄膜因具有高熔点、低电阻率等特点,在硅基器件Cu互连工艺中具有广阔的应用前景。然而,沉积态ZrB_(2)薄膜多呈现结晶态,其晶界会为Cu原子提供快速扩散通道,通过非金属元素(N或O)掺杂可以得到非晶结构的ZrB_(2)薄膜,以提高其扩散阻挡性能。采用反应磁控溅射技术,在不同基底偏压下在单晶Si(100)基底上沉积了Zr-B-O-N薄膜和Cu/Zr-B-O-N双层膜,分别利用原子力显微镜、X射线衍射仪、透射电子显微镜、扫描电子显微镜和四点探针仪等检测方法对薄膜的微观组织结构、电学和扩散阻挡性能进行表征分析。研究结果表明:沉积态Zr-B-O-N薄膜表面平整,粗糙度随基底偏压增加而增加,且薄膜均呈现非晶结构;当基底偏压为150 V时,10 nm厚的非晶Zr-B-O-N薄膜可以在700℃有效阻挡Cu原子扩散。因此,Zr-B-O-N薄膜是一种具有应用潜力的扩散阻挡层材料。
- 孟瑜宋忠孝王小艳钱旦刘明霞李晓华
- 关键词：磁控溅射微观结构
- 修复受损轴流风机叶片的激光熔覆Fe基合金粉末及修复方法
- 本发明公开了一种用于修复受损轴流风机叶片的激光熔覆Fe基合金粉末及修复方法，包括质量百分比的原料：Si？1.0～1.5％；B？1.0～1.5％；V？0.3～0.5％；W？1.5～2.5％；Cr？15～17％；Fe？55～...
- 刘明霞徐可为戴君张海存畅庚榕支金花撒兴军
- 文献传递
- 基于激光立体成形技术的奥氏体复合梯度材料的制备方法
- 本发明公开的基于激光立体成形技术的奥氏体复合梯度材料的制备方法，包括如下步骤：预处理原材料316L不锈钢粉末和Mo合金粉末；分别取占316L不锈钢粉末不同质量比的Mo合金粉末，并且与316L不锈钢粉末在球磨机中混合均匀，...
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- 文献传递
- 激光熔覆Ni基合金层耐腐蚀性研究被引量：2
- 2017年
- 利用激光熔覆技术在25Cr2Ni4Mo V低碳合金钢不锈钢表面制备了Ni60合金熔覆层,通过铜离子加速醋酸盐雾腐蚀实验、氯离子溶液浸泡实验以及硫离子溶液浸泡实验3种方法观察Ni60合金层对Cl离子和S离子的耐腐蚀程度,并采用失重法称重分析.结果表明,Ni60在不同的腐蚀液中表现出不同的耐腐蚀性,展现了不同的腐蚀形貌和腐蚀方式:合金层耐S离子的腐蚀性最高,腐蚀速率仅为0.185 g/(m^2·h);Cl离子浸泡腐蚀的腐蚀程度最为严重,晶界和晶粒均发生腐蚀,并形成了疏松的腐蚀层,腐蚀速率为0.602 g/(m^2·h).
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- 关键词：激光熔覆耐腐蚀性能
- 一种无痛注射针头表面处理工艺
- 本发明公开了一种无痛注射针头表面处理工艺，包括氨基官能团硅烷、酚醛树脂、聚钛酸丁酯树脂、环氧树脂、氧化锌粉末、石墨粉末、芳香族烃溶剂和二硫化钼粉末，与现有技术相比，本发明的配方制成的涂层涂覆在注射针的针头上，能够大幅度地...
- 余历军董忍娥张永建畅庚榕刘丰刚叶芳霞张秀萍刘明霞何坛王小艳
- 文献传递
- Si/C多层薄膜中硅纳米晶的微结构演化（英文）
- 2018年
- 通过磁控溅射技术和1100℃的高温后续退火处理,在Si/C多层薄膜中形成硅纳米晶。改变多层薄膜的Si/C调制比可以调控硅纳米晶的尺寸、形状和密度。其微观结构由小角X射线、拉曼频移、高分辨电镜进行表征。结合拉曼频移和高分辨透射电镜分析,得到的结果表明,由于受到C层界面约束,非晶硅层在高温下会发生固态重结晶,转变为纳米晶。通过ζ可调控纳米晶的尺寸和形状。当ζ从0.5到2改变时,硅纳米晶的形状逐渐从球形、椭圆形转变为条形或者砖型。夹层受限生长模式有利于适应新一代硅基光电子器件的结构设计。
- 畅庚榕刘明霞马飞付福兴何斌锋徐可为
- 关键词：硅纳米晶微结构拉曼频移
- 一种耐磨耐蚀涂层及其制备方法与应用
- 本发明公开了一种耐磨耐蚀涂层及其制备方法与应用，属于工程材料表面防护制造技术领域。该耐磨耐蚀涂层的制备方法包括以下步骤：采用电弧离子镀方式于基体表面制备Ti<Sub>x</Sub>Me<Sub>1‑x</Sub>层，采用...
- 王迪杨祯尹志福刘明霞邱云刘寒
- 基于高速激光熔覆技术的离心风机钢主轴涂层制备方法
- 本发明公开了一种基于高速激光熔覆技术的离心风机钢主轴涂层制备方法，包括镍基粉末和合金结构钢主轴预处理；调整光斑和粉斑位置，启动激光熔覆设备，将镍基粉末采用同轴送粉高速激光熔覆方法熔覆到合金结构钢主轴外表面待熔覆面，降低激...
- 刘明霞谢燕翔张文康畅庚榕付福兴戴君余历军张运良
- 文献传递
