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张志豪

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：杭州电子科技大学更多>>
发文基金：浙江省自然科学基金浙江省科技厅项目更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 2篇低毒性
  • 2篇毒性
  • 2篇软光刻
  • 2篇氢氟酸
  • 2篇刻蚀
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻技术
  • 2篇硅刻蚀
  • 2篇氟化物
  • 1篇电器件
  • 1篇热电器件
  • 1篇热电转换
  • 1篇热电转换效率

机构

  • 3篇杭州电子科技...

作者

  • 3篇吕燕飞
  • 3篇赵士超
  • 3篇张琪
  • 3篇张志豪
  • 2篇王昕

传媒

  • 1篇大学物理实验

年份

  • 1篇2018
  • 2篇2016
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
稳态平板法在热电器件热电转换效率测试中的应用被引量：2
2016年
将稳态平板法测导热系数的实验应用于热电器件热电转换效率的测试,通过测量输入器件的传热速率和负载的输出电功获得热电器件的热电转换效率。研究发现,稳态平板法可以测量工作温度在室温到100℃范围内热电器件的热电转换效率。
赵士超张琪吕燕飞张志豪
关键词：热电器件热电转换效率
一种氧化硅刻蚀的方法
本发明涉及一种氧化硅刻蚀的方法。软光刻技术相对于传统光刻技术，具有方便灵活易于实现的优点，不仅如此它还能用于刻蚀复杂的空间三维结构。光刻中常用的刻蚀剂是氢氟酸，氢氟酸具有很强的腐蚀性和毒性，在条件一般的实验室中是不适合应...
赵士超张琪张志豪吕燕飞金圣忠王昕
文献传递
一种氧化硅刻蚀的方法
本发明涉及一种氧化硅刻蚀的方法。软光刻技术相对于传统光刻技术，具有方便灵活易于实现的优点，不仅如此它还能用于刻蚀复杂的空间三维结构。光刻中常用的刻蚀剂是氢氟酸，氢氟酸具有很强的腐蚀性和毒性，在条件一般的实验室中是不适合应...
赵士超张琪张志豪吕燕飞金圣忠王昕
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